[发明专利]曝光装置、平面显示器的制造方法、组件制造方法、及曝光方法有效
| 申请号： | 201680059115.5 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN108139685B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 原笃史 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 朱龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种液晶曝光装置，液晶曝光装置(10)具备配置在投影光学系统(16)下方用以保持基板(P)的基板保持具(24)、沿XY平面使基板保持具移动的第1驱动部、测量基板保持具的位置信息的读头(68S)、支承读头并能在XY平面内移动的读头载台(64)、以及在X轴、Y轴方向移动读头载台的第2驱动部，该第2驱动部，在以第1驱动部使基板保持具往X轴或Y轴方向移动时，使读头载台往X轴或Y轴方向移动。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 平面 显示器 制造 方法 组件 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，所述曝光装置经由投影光学系统利用照明光使物体曝光，其中，所述曝光装置具备：第1移动体，所述第1移动体配置在所述投影光学系统的下方并保持所述物体；第1驱动部，所述第1驱动部在与所述投影光学系统的光轴正交的既定平面内彼此正交的第1方向、第2方向上使所述第1移动体移动；测量部，所述测量部测量所述第1移动体的位置信息；第2移动体，所述第2移动体支承所述测量部并能够在所述既定平面内移动；以及第2驱动部，所述第2驱动部在所述第1方向、第2方向上使所述第2移动体移动,所述第2驱动部在利用所述第1驱动部使所述第1移动体向所述第1方向或所述第2方向移动时，使所述第2移动体向所述第1方向或所述第2方向移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680059115.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
