[发明专利]加热器控制装置、加热器控制方法、基板处理装置及基板处理方法在审
| 申请号： | 201680058002.3 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN108141913A | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 木名濑淳;松岛大辅 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00;H01L21/027;G05D23/22 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 任玉敏 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在具有将石英板(50)加热的加热器(80和检测石英板(50)的温度的热电偶(60)、基于从热电偶(60)输出的温度信息值控制加热器(80)以使石英板(50)的温度成为目标温度值Tx的加热器控制部(100)中，热电偶(60)在石英板(50)上设有4个；具有：前处理单元(110)，从4个热电偶(60)输入温度信息值，使用被输入的温度信息值组中的、将最小值的温度信息值去除后的其余的温度信息值，求出代表温度值T；和反馈控制部(104)，控制加热器(80)，以使代表温度值T成为目标温度值Tx。 | ||
| 搜索关键词： | 温度信息 热电偶 石英板 控制加热器 加热器控制装置 基板处理装置 加热器控制部 加热器 反馈控制部 加热器控制 前处理单元 基板处理 加热 去除 输出 检测 | ||
【主权项】：
一种加热器控制装置，具有将被加热体加热的加热器和检测上述被加热体的温度的温度检测器，基于从该温度检测器输出的温度信息值控制上述加热器，以使上述被加热体的温度成为目标温度值，其特征在于，上述温度检测器在上述被加热体上设有多个；该加热器控制装置具有：前处理部，从上述多个温度检测器输入温度信息值，使用被输入的温度信息值组中的、从最小值或最大值的一个或两者去除了至少1个温度信息值后的其余的温度信息值，求出代表温度值；及反馈控制部，控制上述加热器，以使上述代表温度值成为上述目标温度值。
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