[发明专利]加热器控制装置、加热器控制方法、基板处理装置及基板处理方法

权利要求书

1.一种加热器控制装置，具有将被加热体加热的加热器和检测上述被加热体的温度的温度检测器，基于从该温度检测器输出的温度信息值控制上述加热器，以使上述被加热体的温度成为目标温度值，其特征在于，

上述温度检测器在上述被加热体上设有多个；

该加热器控制装置具有：

前处理部，从上述多个温度检测器输入温度信息值，使用被输入的温度信息值组中的、从最小值或最大值的一个或两者去除了至少1个温度信息值后的其余的温度信息值，求出代表温度值；及

反馈控制部，控制上述加热器，以使上述代表温度值成为上述目标温度值。

2.如权利要求1所述的加热器控制装置，其特征在于，

上述被加热体被划分为多个区域，并且按照上述区域具有上述加热器和多个温度检测器；

上述前处理部使用从上述每个区域的各温度检测器输入的温度信息值，按照区域求出上述代表温度值。

3.如权利要求1或2所述的加热器控制装置，其特征在于，

上述前处理部求出上述温度信息值的平均值作为代表温度值。

4.如权利要求1或2所述的加热器控制装置，其特征在于，

上述前处理部求出上述温度信息值的中值作为代表温度值。

5.如权利要求1或2所述的加热器控制装置，其特征在于，

上述前处理部求出上述温度信息值的众数作为代表温度值。

6.一种加热器控制方法，基于从检测被加热体的温度的温度检测器输出的温度信息值控制加热器，以使上述被加热体的温度成为目标温度值，其特征在于，

将温度检测器在上述被加热体上设置多个；

使用由上述多个温度检测器得到的温度信息值组中的、从最小值或最大值的一个或两者去除了至少1个温度信息值后的其余的温度信息值，求出代表温度值；

控制上述加热器，以使上述代表温度值成为上述目标温度值。

7.一种基板处理装置，其特征在于，具有：

基板保持部；

作为被加热体的板，在被上述基板保持部保持的基板的上方与上述基板对置配置；

加热器，将该板加热；

多个温度检测器，设在该板上；及

上述权利要求1所述的加热器控制装置。

8.一种基板处理方法，其特征在于，

具有：

作为被加热体的板，在被基板保持部保持的基板的上方与上述基板对置配置；

加热器，将该板加热；及

多个温度检测器，设在该板上；

通过上述权利要求6所述的加热器控制方法控制上述加热器。