[发明专利]加热器控制装置、加热器控制方法、基板处理装置及基板处理方法

说明书

在具有将石英板(50)加热的加热器(80和检测石英板(50)的温度的热电偶(60)、基于从热电偶(60)输出的温度信息值控制加热器(80)以使石英板(50)的温度成为目标温度值Tx的加热器控制部(100)中，热电偶(60)在石英板(50)上设有4个；具有：前处理单元(110)，从4个热电偶(60)输入温度信息值，使用被输入的温度信息值组中的、将最小值的温度信息值去除后的其余的温度信息值，求出代表温度值T；和反馈控制部(104)，控制加热器(80)，以使代表温度值T成为目标温度值Tx。

技术领域

本发明涉及加热器控制装置、加热器控制方法、基板处理装置及基板处理方法。

背景技术

已知有将半导体基板用高温板或炉等加热、通过添加溶剂或药液来将半导体基板处理(蚀刻处理等)的各种基板处理装置(例如，日本专利公开公报：特开平9－134872号公报)。

在这种基板处理装置中，用于将高温板或炉等的对象物加热的加热器的控制通常是PID控制(Proportional－Integral－Differential Controller)。图7是使用加热器将高温板加热的例子，加热器101的热在传热体101a中传递，将高温板102加热。在高温板102上，为了检测其温度值Tp而设置温度检测器103。将由该温度检测器103检测出的温度值Tp向反馈控制部104的比较器104a输入，计算与从外部输入的高温板102的目标温度值Tx的差ΔT。并且，对于该差ΔT，由反馈控制部104的PID控制部104b进行PID控制(比例/积分/微分)的运算，基于其运算结果，调整从AMP(amplifier)105向加热器101输出的功率。由此，控制加热器101以使高温板102维持目标温度值Tx。

发明内容

在上述加热器的控制方法中，有以下这样的问题。即，在通过加热器的控制将高温板或炉等对象物设定为目标温度值的情况下，在向对象物施加的干扰为一定(自然散热等)的情况下能进行适当的控制，但在干扰为局部性的情况下难以进行适当的控制。例如，有在高温板上局部地附着药液等液滴的情况。此时，如果高温板的附着液滴的部位远离配置有温度检测器的场所，则温度检测器不受液滴的影响而输出适当的温度值。因而，基于该温度检测器的输出，进行加热器的适当的控制。但是，如果偶发性地液滴附着到配置有温度检测器的场所的附近，则温度检测器检测到较大的温度下降或温度上升。在此情况下，尽管高温板的实际的温度值与目标温度值相比相差不那么远，但通过基于由温度检测器检测到的温度值的PID控制，过度地反应以要使检测出的温度值回到目标温度值。结果，有通过过量调节(overshoot)等而不能进行加热器的适当的控制的情况。如液滴那样局部性地使温度值变化的因素由于是否附着到温度检测器的配置场所的附近是偶然的，所以会采取不确定的动态。

在上述那样的情形中，不能说温度检测器是异常的。温度检测器正确地测量其被设置的场所的温度。重要的是，当相对于被温度控制的高温板等对象物、液滴的附着部位不为一定(即干扰是局部性的)时，起因于此，由温度检测器检测的温度值较大地变动。因此，即使控制加热器，也不能将对象物设定为目标温度值。

本发明的目的是提供一种即使在局部性地发生干扰的情况下也能够进行适当的加热器控制的加热器控制装置、加热器控制方法、基板处理装置及基板处理方法。

用来解决课题的手段

有关本发明的技术方案的加热器控制装置，具有将被加热体加热的加热器和检测上述被加热体的温度的温度检测器，基于从该温度检测器输出的温度信息值控制上述加热器，以使上述被加热体的温度成为目标温度值；上述温度检测器在上述被加热体上设有多个；具有：前处理部，从上述多个温度检测器输入温度信息值，使用被输入的温度信息值组中的、从最小值或最大值的一方或两者去除至少1个温度信息值后的其余的温度信息值，求出代表温度值；和反馈控制部，控制上述加热器，以使上述代表温度值成为上述目标温度值。