[发明专利]移动体装置、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法有效
| 申请号： | 201680057153.7 | 申请日： | 2016-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN108139676B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的用以求出能在与XY平面平行的方向移动的基板保持具(36)于Z轴方向的位置信息的测量系统，具备：与基板保持具(36)对向设置能于Y轴方向与基板保持具(36)同步移动的Y滑件(76)、设在Y滑件(76)的传感器头(78)、以及控制Y滑件(76)并使用设在基板保持具(36)的延伸于X轴方向的靶(38)藉由传感器头(78)求出基板保持具(36)于Z轴方向的位置信息的控制系。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 装置 曝光 平面 显示器 制造 方法 组件 | ||
【主权项】：
一种移动体装置，具备：第1移动体，其保持物体，可向第1方向移动；第2移动体，其与所述第1移动体对置设置，能向所述第1方向移动；以及测量部，其具有设在所述第1移动体及第2移动体中的一个移动体上的测量系、与设在另一个移动体上的被测量系，所述测量系对所述被测量系照射测量光束以测量所述第1移动体在上下方向上的位置，所述测量部以下述方式进行测量，即相对于向所述第1方向移动的所述第1移动体，以与所述第1移动体对置的方式使所述第2移动体向所述第1方向移动。
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