[发明专利]移动体装置、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法

权利要求书

1.一种移动体装置，具备：

第1移动体，其保持物体，可向第1方向移动；

基准构件，其作为所述第1移动体的移动的基准；

第2移动体，其在上下方向上配置在所述第1移动体与所述基准构件之间，并且与所述第1移动体对置设置，能向所述第1方向移动；

第1测量系，其求出所述第2移动体相对于所述基准构件在所述第1方向上的位置信息；以及

第2测量系，其具有设在所述第1移动体及所述第2移动体中的一个移动体上的编码器读头、与设在所述第1移动体及所述第2移动体中的另一个移动体上的绕射光栅，所述编码器读头对所述绕射光栅照射测量光束，以测量所述第1移动体相对于所述第2移动体在所述第1方向上的位置，与根据所述测量光束的来自所述绕射光栅的返回光，测量所述第1移动体在所述上下方向上的位置；

所述移动体装置根据所述第1测量系及所述第2测量系的输出，求出所述第1移动体在2维平面内的位置信息；

所述第2测量系以下述方式进行测量，即相对于向所述第1方向移动的所述第1移动体，以与所述第1移动体对置的方式使所述第2移动体向所述第1方向移动；

所述第1测量系以下述方式进行测量，即相对于所述基准构件，以与所述基准构件对置的方式使所述第2移动体向所述第1方向移动。

2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，所述第2移动体以所述测量光束不会从所述绕射光栅脱离的方式，相对于所述第1移动体向所述第1方向移动。

3.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，所述编码器读头设于所述第2移动体；

所述第2测量系补偿因设于所述第2移动体的所述编码器读头向所述第1方向的驱动而产生的所述第1方向的测量误差，以测量所述第1移动体在所述第1方向上的位置。

4.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，所述绕射光栅具有能测量所述第1移动体在与所述第1方向交叉的第2方向上的可移动范围的长度。

5.如权利要求4所述的移动体装置，其中，所述第1移动体以所述测量光束不会从所述绕射光栅脱离的方式向所述第2方向移动。

6.如权利要求4所述的移动体装置，其中，在所述第1移动体向所述第2方向移动时，所述第2测量系在不改变所述第2移动体在所述第2方向上的位置的情形下进行测量。

7.如权利要求4所述的移动体装置，其中，所述编码器读头设有多个；

多个所述编码器读头对所述绕射光栅的测量点在所述第2方向上位置互异。

8.如权利要求1或2所述的移动体装置，其进一步具备以非接触方式支承所述物体的支承部；

所述第1移动体保持由所述支承部非接触支承的所述物体。

9.一种曝光装置，其具备：

权利要求1至8中任一项所述的移动体装置；以及

对所述第1移动体所保持的物体使用能量束形成既定图案的图案形成装置。

10.如权利要求9所述的曝光装置，其中，所述物体是用于平面显示器的基板。

11.如权利要求10所述的曝光装置，其中，所述基板的至少一边的长度或对角长为500mm以上。

12.一种平面显示器的制造方法，其包含：

使用权利要求9至11中任一项所述的曝光装置使所述物体曝光的步骤；以及

使曝光后的所述物体显影的步骤。

13.一种组件制造方法，其包含：

使用权利要求9至11中任一项所述的曝光装置使所述物体曝光的步骤；以及

使曝光后的所述物体显影的步骤。