[发明专利]质量流量控制装置和压差式流量计的诊断方法

摘要

本发明能够提供质量流量控制装置和压差式流量计的诊断方法，其中，利用记录部件记录从流量控制阀打开从而开始对流量的控制时或从流量控制阀关闭从而停止对流量的控制时起直到测量流量稳定为止的期间内的、压差发生部件的下游侧的流体的压力的值，利用诊断部件使基于记录部件所记录的下游侧的流体的压力的值而获取的管理值与流量计未发生异常时的管理值相对比，在两者之差的绝对值超过阈值时诊断为所述流量计发生了异常。优选地在流量计的上游侧与流量计相邻地进一步配置机械式调压阀。由此，能够在没有专门设置用于实施诊断的时间的情况下简便地诊断压差式的流量计的异常的发生。

主权项

一种质量流量控制装置，该质量流量控制装置具有：流量计，其构成为基于装设于流体的流路上的压差发生部件的上游侧的所述流体的压力即第1压力的值和所述压差发生部件的下游侧的所述流体的压力即第2压力的值，来测量所述流体的流量；流量控制阀，其构成为能够控制所述流体的流量；以及控制部件，其构成为能够向所述流量控制阀输出控制信号，以使利用所述流量计测量到的所述流体的流量即测量流量与所述流体的流量的目标值即设定流量一致，该质量流量控制装置的特征在于，还具有：记录部件，其构成为记录开阀时压力值和闭阀时压力值这两者或其中任一者，该开阀时压力值为自所述流量控制阀从关闭的状态变化为打开的状态从而开始对流量的控制时起直到所述测量流量稳定为止的期间内的所述第2压力的值，该闭阀时压力值为自所述流量控制阀从打开的状态变化为关闭的状态从而停止对流量的控制时起直到所述测量流量成为零为止的期间内的所述第2压力的值；以及诊断部件，其构成为，在基于所述开阀时压力值和所述闭阀时压力值这两者或其中任一者获取的管理值即测量管理值与所述流量计未发生异常时的所述管理值即初期管理值之差的绝对值超过预定阈值的情况下，诊断为所述流量计发生了异常。