[发明专利]质量流量控制装置和压差式流量计的诊断方法

权利要求书

1.一种质量流量控制装置，该质量流量控制装置具有：

流量计，其构成为基于装设于流体的流路上的压差发生部件的上游侧的所述流体的压力即第1压力的值和所述压差发生部件的下游侧的所述流体的压力即第2压力的值，来测量所述流体的流量；

流量控制阀，其构成为能够控制所述流体的流量；以及

控制部件，其构成为能够向所述流量控制阀输出控制信号，以使利用所述流量计测量到的所述流体的流量即测量流量与所述流体的流量的目标值即设定流量一致，

该质量流量控制装置的特征在于，还具有：

记录部件，其构成为记录开阀时压力值和闭阀时压力值这两者或其中任一者，该开阀时压力值为自所述流量控制阀从关闭的状态变化为打开的状态从而开始对流量的控制时起直到所述测量流量稳定为止的期间内的所述第2压力的值，该闭阀时压力值为自所述流量控制阀从打开的状态变化为关闭的状态从而停止对流量的控制时起直到所述测量流量成为零为止的期间内的所述第2压力的值；以及

诊断部件，其构成为，在基于所述开阀时压力值和所述闭阀时压力值这两者或其中任一者获取的管理值即测量管理值与所述流量计未发生异常时的所述管理值即初期管理值之差的绝对值超过预定阈值的情况下，诊断为所述流量计发生了异常，

所述管理值是将所述开阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值的最大值、和将所述闭阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值的最大值这两者或其中任一者。

2.一种质量流量控制装置，该质量流量控制装置具有：

流量计，其构成为基于装设于流体的流路上的压差发生部件的上游侧的所述流体的压力即第1压力的值和所述压差发生部件的下游侧的所述流体的压力即第2压力的值，来测量所述流体的流量；

流量控制阀，其构成为能够控制所述流体的流量；以及

控制部件，其构成为能够向所述流量控制阀输出控制信号，以使利用所述流量计测量到的所述流体的流量即测量流量与所述流体的流量的目标值即设定流量一致，

该质量流量控制装置的特征在于，还具有：

记录部件，其构成为记录开阀时压力值和闭阀时压力值这两者或其中任一者，该开阀时压力值为自所述流量控制阀从关闭的状态变化为打开的状态从而开始对流量的控制时起直到所述测量流量稳定为止的期间内的所述第2压力的值，该闭阀时压力值为自所述流量控制阀从打开的状态变化为关闭的状态从而停止对流量的控制时起直到所述测量流量成为零为止的期间内的所述第2压力的值；以及

诊断部件，其构成为，在基于所述开阀时压力值和所述闭阀时压力值这两者或其中任一者获取的管理值即测量管理值与所述流量计未发生异常时的所述管理值即初期管理值之差的绝对值超过预定阈值的情况下，诊断为所述流量计发生了异常，所述管理值是从由所述流量控制阀开始对流量的控制时起直到将所述开阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值成为最大为止的时间、和从由所述流量控制阀停止对流量的控制时起直到将所述闭阀时压力值对时间求微分得到的值的绝对值成为最大为止的时间这两者或其中任一者。