[发明专利]质量流量控制装置和压差式流量计的诊断方法

说明书

本发明能够提供质量流量控制装置和压差式流量计的诊断方法，其中，利用记录部件记录从流量控制阀打开从而开始对流量的控制时或从流量控制阀关闭从而停止对流量的控制时起直到测量流量稳定为止的期间内的、压差发生部件的下游侧的流体的压力的值，利用诊断部件使基于记录部件所记录的下游侧的流体的压力的值而获取的管理值与流量计未发生异常时的管理值相对比，在两者之差的绝对值超过阈值时诊断为所述流量计发生了异常。优选地在流量计的上游侧与流量计相邻地进一步配置机械式调压阀。由此，能够在没有专门设置用于实施诊断的时间的情况下简便地诊断压差式的流量计的异常的发生。

技术领域

本发明是涉及一种质量流量控制装置的发明，涉及一种基于流体的压力或压差的测量值来控制流体的质量流量的质量流量控制装置。并且，本发明是涉及一种诊断压差式流量计发生异常的方法的发明，也涉及一种构成质量流量控制装置的压差式流量计的诊断方法。

背景技术

质量流量控制装置(质量流量控制器)是由用于测量流体的流量的流量计、用于控制流体的流量的流量控制阀、用于控制该流量计和该流量控制阀的控制电路以及其他零件构成的控制设备。质量流量控制装置例如以在半导体的制造工艺中控制向室内供给的气体的质量流量等为目的而被广泛地使用。

质量流量控制装置所采用的流量计有各种各样的形式。以在半导体的制造工艺中控制气体的质量流量为目的而被使用的质量流量控制装置主要使用热式流量计或压力式流量计。其中，作为压力式流量计，例如能够列举：利用在流经被称作节流孔或流路收缩喷嘴等构件的气体的流速为音速时，气体的流量只依赖于上游侧的气体压力的性质的压力式流量计(以下称作“节流式流量计”)；以及基于压差发生部件的上游侧的气体压力的值与下游侧的气体压力的值之差来测量流量的压力式流量计(以下称作“压差式流量计”)等。

在节流式流量计中，气体经过狭窄的流路。在由于异物附着于该狭窄的流路等原因导致该流路的截面积发生变化的情况下，流量计无法测量出正确的流量。在压差式流量计中，在由于异物附着于压差发生部件等原因导致对流体的阻力发生了变化的情况下，也会产生同样的问题。因此，提出了在使用了压力式流量计的质量流量控制装置中诊断是否发生了这种异常的方法。

例如，在专利文献1中公开了在使用了节流式流量计的质量流量控制装置中，通过如下方式来检测节流孔的堵塞的方法的发明，即：使关闭了设于节流孔的上游侧的控制阀时的、上游侧的气体的压力衰减数据与在同一条件下节流孔没有堵塞时测量出的基准压力衰减数据相对比。

此外，例如，在专利文献2中公开了在使用了节流式流量计的质量流量控制装置中，通过如下方式来进行对流路收缩喷嘴的诊断的喷嘴诊断机构的发明，即：使瞬间关闭了设于流路收缩喷嘴的上游侧的流量调整阀时的、上游侧的气体压力值的随时间的变化与在组装质量流量控制装置时测量出的基准值相比较。

并且，此外，例如在专利文献3中公开了在使用了压差式流量计的质量流量控制装置中，通过如下方式来高精度地诊断压差发生部件的堵塞的诊断机构的发明，即：使在关闭了设于压差发生部件的上游侧的阀时的、上游侧的流体压力的值或下游侧的流体压力的值从第1压力成为第2压力为止的期间内的该压力的时间积分值与预先规定的规定值相比较。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-137528号公报

专利文献2：日本特开2000-214916号公报

专利文献3：日本特开2004-157719号公报

发明内容

发明要解决的问题