[发明专利]使用低噪声传感器的暗场检验

摘要

本发明涉及一种检验系统及方法，其中在由图像传感器捕获的模拟图像数据值(电荷)被传输作为图像传感器的输出感测节点(浮动扩散区)上的输出信号之前或之时，分选(组合)模拟图像数据值(电荷)，且其中ADC经控制以在输出感测节点的每一复位之间循序产生多个对应数字图像数据值。根据输出分选方法，图像传感器经驱动以在每一复位之间将多个电荷循序转移到输出感测节点上，且在将每一电荷转移到输出感测节点上之后，ADC经控制以转换渐进增加的输出信号。根据多重采样方法，多个电荷在被转移到输出感测节点上之前经垂直或水平分选(加总/组合)，且ADC多次采样每一对应输出信号。可组合输出分选及多重采样方法。

主权项

一种使用图像传感器及模/数转换器ADC检验样本的方法，所述图像传感器包含多个像素及输出感测节点，所述ADC经配置以将在所述输出感测节点上产生的模拟输出信号转换为对应数字图像数据值，所述方法包括：驱动所述图像传感器，使得在所述多个像素中产生多个模拟图像数据值，每一所述模拟图像数据值对应于从所述样本的对应区域引导到所述多个像素上的辐射部分，所述驱动包含将所述模拟图像数据值中的一或多者从所述多个像素系统地转移到所述输出感测节点，且使得所述输出感测节点根据所述一或多个模拟图像数据值产生所述模拟输出信号，其中驱动所述图像传感器进一步包含根据复位时钟信号将所述输出感测节点周期性地复位为初始值；及控制所述ADC以在所述复位时钟信号的每一循环期间将在所述输出感测节点上产生的所述模拟输出信号中的一或多者循序转换为两个或两个以上所述对应数字数据值。