[发明专利]使用低噪声传感器的暗场检验

权利要求书

1.一种使用图像传感器及模/数转换器ADC检验样本的方法，所述图像传感器包含多个像素及输出感测节点，所述多个像素安置于至少一列中，所述ADC经配置以将在所述输出感测节点上的模拟输出信号转换为对应数字图像数据值，所述方法包括：

驱动所述图像传感器，使得在所述多个像素中产生多个模拟图像数据值，每一所述模拟图像数据值对应于从所述样本的对应区域引导到所述多个像素上的辐射部分，所述驱动包含将所述模拟图像数据值沿着所述至少一列从所述多个像素系统地转移到所述输出感测节点，同时将所述样本相对于所述图像传感器平移，使得每一所述模拟图像数据值与所述样本的所述对应区域协作地从所述至少一列中的所述多个像素中的第一像素移位到所述多个像素中的第二像素，由此所述每一模拟图像数据值被来自在当所述每一模拟图像数据值在所述第一像素中时的第一时间期间的所述对应区域的所述对应辐射部分影响，以及所述每一模拟图像数据值被在当所述每一模拟图像数据值在所述第二像素中时的第二时间期间的所述对应辐射部分影响，且其中所述系统地转移被执行以使得所述输出感测节点存储由所述系统地转移的模拟图像数据值所确定的电荷值以及根据所存储的电荷值产生所述模拟输出信号，其中驱动所述图像传感器进一步包含根据复位时钟信号将所述输出感测节点周期性地复位为初始电荷值；及

控制所述ADC以在所述复位时钟信号的每一循环期间将在所述输出感测节点上产生的所述模拟输出信号中的一或多者循序转换为两个以上所述对应数字图像数据值。

2.根据权利要求1所述的方法，其中驱动所述图像传感器进一步包括在所述复位时钟信号的每一循环期间，将两个以上模拟图像数据值转移到所述输出感测节点，使得存储在所述输出感测节点上的电荷值包含所述模拟图像数据值中的两个以上的总和。

3.根据权利要求2所述的方法，

其中驱动所述图像传感器进一步包括将所述两个以上模拟图像数据值循序转移到所述输出感测节点，使得在第一时间段期间所述输出感测节点存储所述两个以上模拟图像数据值中的第一模拟图像数据值，且在第二时间段期间所述输出感测节点存储所述两个以上模拟图像数据值中的所述第一模拟图像数据值与第二模拟数据图像值的总和，且

其中控制所述ADC进一步包括在所述第一时间段期间产生第一数字输出值，且在所述第二时间段期间产生第二数字输出值。

4.根据权利要求3所述的方法，其进一步包括通过确定所述第一数字输出值与所述第二数字输出值之间的差来确定至少一个数字图像数据值。

5.根据权利要求2所述的方法，

其中驱动所述图像传感器进一步包括使用移位寄存器时钟信号来驱动移位寄存器，使得在所述移位寄存器时钟信号的每一循环期间所述模拟图像数据值中的一者从所述移位寄存器被连续转移到所述输出感测节点，且

其中将所述输出感测节点周期性地复位为初始值包括在所述移位寄存器时钟信号的每两个以上循环中复位所述输出感测节点。

6.根据权利要求2所述的方法，

其中驱动所述图像传感器进一步包括将所述两个以上模拟图像数据值同时转移到所述输出感测节点，使得在第一时间段期间所述输出感测节点存储所述两个以上模拟图像数据值的总和，且

其中控制所述ADC进一步包括在所述第一时间段的第一部分期间产生第一数字输出值，且在所述第一时间段的第二部分期间产生第二数字输出值。

7.根据权利要求6所述的方法，通过确定所述第一数字输出值与所述第二数字输出值的平均值来确定至少一个数字图像数据值。