[发明专利]使用低噪声传感器的暗场检验

说明书

本发明涉及一种检验系统及方法，其中在由图像传感器捕获的模拟图像数据值(电荷)被传输作为图像传感器的输出感测节点(浮动扩散区)上的输出信号之前或之时，分选(组合)模拟图像数据值(电荷)，且其中ADC经控制以在输出感测节点的每一复位之间循序产生多个对应数字图像数据值。根据输出分选方法，图像传感器经驱动以在每一复位之间将多个电荷循序转移到输出感测节点上，且在将每一电荷转移到输出感测节点上之后，ADC经控制以转换渐进增加的输出信号。根据多重采样方法，多个电荷在被转移到输出感测节点上之前经垂直或水平分选(加总/组合)，且ADC多次采样每一对应输出信号。可组合输出分选及多重采样方法。

相关申请案

本申请案主张2015年8月14日申请的第62/205,309号美国临时申请案的优先权。

本申请案涉及：布朗(Brown)等人在2014年5月8日申请的标题为“低噪声传感器及使用低噪声传感器的检验系统(A Low-Noise Sensor and an Inspection System Usinga Low-Noise Sensor)”美国专利申请案14/273,424(现在为美国专利9,347,890)；切尔尼(Chern)等人在2013年3月10申请的标题为“具有硼层的反向照明传感器 (BACK-ILLUMINATED SENSOR WITH BORON LAYER)”的美国专利申请案13/792,166；庄(Chuang)等人在2012年12月10日申请的标题为“电子轰击电荷耦合装置及使用电子轰击电荷耦合装置检测器的检验系统(ELECTRON-BOMBARDED CHARGE-COUPLED DEVICE AND INSPECTIONSYSTEMS USING EBCCD DETECTORS)”的美国专利申请案13/710,315；布朗(Brown)等人在2013年12月4日申请的标题为“用于使用脉冲照明高速获取移动图像的方法及设备(METHODAND APPARATUS FOR HIGH SPEED ACQUISITION OF MOVING IMAGES USING PULSEDILLUMINATION)”的美国专利申请案14/096,911，其主张布朗(Brown)等人在2012年12月10日申请的美国临时申请案61/735,427的优先权；布朗(Brown)等人在2009年10月7日申请的标题为“具有用于高速检验的局部驱动及信号处理电路的TDI传感器模块(TDI SENSORMODULES WITH LOCALIZED DRIVING AND SIGNAL PROCESSING CIRCUITRY FOR HIGH SPEEDINSPECTION)”的美国专利8,624,971；阿姆斯特朗(Armstrong)等人在2007年5 月25日申请的标题为“使用背侧照明层传感器的检验系统(INSPECTION SYSTEM USING BACK SIDEILLUMINATED LINEAR SENSOR)”的美国公开专利申请案 2011/0073982；布朗(Brown)等人在2009年10月27日发布的标题为“时延积分传感器的连续定时(Continuous clocking ofTDI sensors)”的美国专利7,607,309B2；布朗(Brown) 等人在2011年5月31日发布的标题为“用于时延积分传感器的连续定时的设备 (APPARATUS FOR CONTINUOUS CLOCKING OFTDI SENSORS)”的美国专利 7,952,633；及布朗(Brown)等人在2014年6月17日发布的标题为“用于高速图像应用的集成多通道模拟前端及数字化器(INTEGRATED MULTI-CHANNELANALOG FRONT END AND DIGITIZER FOR HIGH SPEED IMAGING APPLICATIONS)”的美国专利8,754,972B2。所有这些申请案及专利以引用的方式并入本文中。

技术领域

本申请案涉及适合用于感测可见、紫外线(UV)、深UV(DUV)、真空UV(VUV)、极UV(EUV)、X射线波长的辐射且用于感测电子的图像传感器及用于操作此类图像传感器的方法。所述传感器尤其适合用于暗场检验系统，包含用于检测光罩、主光罩及半导体晶片的暗场检验系统。

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