[发明专利]成膜装置有效
| 申请号： | 201680045499.5 | 申请日： | 2016-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN107849690B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 北见尚久;酒见俊之;山本哲也;野本淳一 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 任玉敏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种成膜装置，将成膜材料成膜于成膜对象物，该成膜装置具备：真空腔室，容纳所述成膜对象物并进行成膜处理；成膜部，在所述真空腔室内使所述成膜材料的粒子附着于所述成膜对象物；及负离子生成部，在所述真空腔室内生成负离子。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，将成膜材料成膜于成膜对象物，该成膜装置具备：真空腔室，容纳所述成膜对象物并进行成膜处理；成膜部，在所述真空腔室内使所述成膜材料的粒子附着于所述成膜对象物；及负离子生成部，在所述真空腔室内生成负离子。
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