[发明专利]用于形成在激光系统或其它系统以及相关联的设备中使用的波导的技术

摘要

一种方法包括形成覆盖传导衬底（102a、102b、302a、302b）的至少部分的涂层（106a、106b、306a、306b），其中所述传导衬底配置为输运热能。方法还包括在涂层上形成光学波导的至少部分。光学波导包括多个包覆层（108a‑108b、308a‑308b）和核心（110、310），并且光学波导配置为输运光学信号。所述传导衬底、涂层和光学波导形成集成的单片式波导结构。

主权项

1.一种用于形成光学波导的方法，包括：/n形成覆盖第一传导衬底的至少一部分的第一涂层，其中所述第一传导衬底被配置为输运热能，所述第一涂层是被配置成给所述第一传导衬底提供保护并且向所述第一传导衬底输运热能的硬涂层；/n形成覆盖第二传导衬底的至少一部分的第二涂层，其中所述第二传导衬底被配置为输运热能，所述第二涂层是被配置成给所述第二传导衬底提供保护并且向所述第二传导衬底输运热能的硬涂层；/n在所述第一涂层和所述第二涂层中的一个上形成所述光学波导的至少一部分；以及/n将所述光学波导的所述至少一部分要么附连到在所述第一涂层和所述第二涂层中的另一个上所形成的所述光学波导的另一部分，要么附连到所述第一涂层和所述第二涂层中的另一个；/n该光学波导包括多个包覆层和核心，该光学波导被配置为输运光学信号；/n其中该第一传导衬底和所述第二传导衬底、该第一涂层和所述第二涂层和该光学波导形成集成的单片式波导结构。/n