[发明专利]用于形成在激光系统或其它系统以及相关联的设备中使用的波导的技术

权利要求书

1.一种用于形成光学波导的方法，包括：

形成覆盖第一传导衬底的至少一部分的第一涂层，其中所述第一传导衬底被配置为输运热能，所述第一涂层是被配置成给所述第一传导衬底提供保护并且向所述第一传导衬底输运热能的硬涂层；

形成覆盖第二传导衬底的至少一部分的第二涂层，其中所述第二传导衬底被配置为输运热能，所述第二涂层是被配置成给所述第二传导衬底提供保护并且向所述第二传导衬底输运热能的硬涂层；

在所述第一涂层和所述第二涂层中的一个上形成所述光学波导的至少一部分；以及

将所述光学波导的所述至少一部分要么附连到在所述第一涂层和所述第二涂层中的另一个上所形成的所述光学波导的另一部分，要么附连到所述第一涂层和所述第二涂层中的另一个；

该光学波导包括多个包覆层和核心，该光学波导被配置为输运光学信号；

其中该第一传导衬底和所述第二传导衬底、该第一涂层和所述第二涂层和该光学波导形成集成的单片式波导结构。

2.权利要求1所述的方法，包括：

在所述第一涂层上形成所述光学波导的第一部分；

在所述第二涂层上形成所述光学波导的第二部分；以及

附连所述光学波导的所述第一部分和所述第二部分。

3.权利要求2所述的方法，其中：

所述光学波导的所述第一部分包括包覆层中的第一包覆层和核心；

所述光学波导的所述第二部分包括包覆层中的第二包覆层；并且

附连所述光学波导的所述第一部分和所述第二部分包括将所述第二包覆层附连到所述核心。

4.权利要求3所述的方法，其中将所述第二包覆层附连到所述核心包括使用扩散接合过程将所述第二包覆层附连到所述核心。

5.权利要求1所述的方法，其中：

形成所述光学波导的至少一部分包括在所述第二涂层上形成所述光学波导；以及

附连所述光学波导的所述至少一部分包括将在所述第二涂层上形成的所述光学波导附连到所述第一涂层。

6.权利要求1所述的方法，其中形成光学波导的至少一部分包括：

通过执行重复的沉积以形成所述核心的多个核心层来形成所述光学波导的核心。

7.权利要求6所述的方法，其中在沉积一个或多个附加核心层之前，暂停所述多个核心层的沉积以使得一个或多个附加操作能够发生在一个或多个现有核心层上。

8.权利要求7所述的方法，其中所述一个或多个附加操作包括所述一个或多个现有核心层的抛光。

9.权利要求6所述的方法，其中执行重复的沉积包括使用以下中的至少一项：射频磁控溅射技术、激光辅助离子溅射技术、分子束外延技术和溶胶-凝胶技术。

10.权利要求6所述的方法，其中执行重复的沉积包括执行掺杂固态增益材料的重复沉积。

11.一种光学波导装置，包括：

被配置为输运热能的第一传导衬底；

覆盖所述第一传导衬底的至少一部分的第一涂层，其中所述第一涂层是被配置成给所述第一传导衬底提供保护并且向所述第一传导衬底输运热能的硬涂层；

被配置为输运热能的第二传导衬底；

覆盖所述第二传导衬底的至少一部分的第二涂层，其中所述第二涂层是被配置成给所述第二传导衬底提供保护并且向所述第二传导衬底输运热能的硬涂层；以及

附连到所述第一涂层和所述第二涂层的光学波导，所述光学波导包括多个包覆层和核心，所述光学波导被配置为输运光学信号；

其中所述第一传导衬底和所述第二传导衬底、所述第一涂层和所述第二涂层和所述光学波导形成集成的单片式波导结构。

12.权利要求11所述的装置，其中所述第一涂层和所述第二涂层被配置为向所述传导衬底提供由光学波导生成的热能。