[发明专利]用于形成在激光系统或其它系统以及相关联的设备中使用的波导的技术

说明书

一种方法包括形成覆盖传导衬底（102a、102b、302a、302b）的至少部分的涂层（106a、106b、306a、306b），其中所述传导衬底配置为输运热能。方法还包括在涂层上形成光学波导的至少部分。光学波导包括多个包覆层（108a‑108b、308a‑308b）和核心（110、310），并且光学波导配置为输运光学信号。所述传导衬底、涂层和光学波导形成集成的单片式波导结构。

技术领域

本公开大体针对用于在高能量激光系统和其它系统中使用的波导。更具体地，本公开涉及用于形成在激光系统或其它系统以及相关联的设备中使用的波导的技术。

背景技术

高能量激光（HEL）系统一般是指在提升的能量水平下生成激光输出的系统，诸如大约50千瓦或更多的激光输出。在这些类型的激光系统或其它系统中，冷却激光增益介质通常是主要的工程挑战。常规激光系统使用各种各样的方案来帮助冷却其增益介质。这些方案包括使用经由水或其它液体的直接冷却，或者使用高级冷却器系统，诸如微通道冷却器。这些方案还包括改变波导的几何形状以使热梯度均衡或者使用固体的激光器冷却。

发明内容

本公开提供了用于形成在激光系统或其它系统以及相关联的设备中使用的波导的技术。

在第一实施例中，一种方法包括形成覆盖传导衬底的至少部分的涂层，其中传导衬底配置为输运热能。方法还包括在涂层上形成光学波导的至少部分。光学波导包括多个包覆层和核心，并且光学波导配置为输运光学信号。传导衬底、涂层和光学波导形成集成的单片式波导结构。

在第二实施例中，一种方法包括形成覆盖传导衬底的至少部分的涂层，其中传导衬底配置为输运热能。方法还包括在涂层上形成光学波导。光学波导包括多个包覆层和核心，并且光学波导配置为输运光学信号。传导衬底、涂层和光学波导形成集成的单片式波导结构。形成光学波导包括通过执行重复的沉积以形成核心的多个核心层来形成光学波导的核心。

在第三实施例中，一种装置包括配置为输运热能的传导衬底以及覆盖传导衬底的至少部分的涂层。装置还包括附连到涂层的光学波导。光学波导包括多个包覆层和一核心，并且光学波导配置为输运光学信号。传导衬底、涂层和光学波导形成集成的单片式波导结构。

根据以下附图、描述和权利要求，其它技术特征对于本领域技术人员可以是显而易见的。

附图说明

为了更全面理解本公开及其特征，现在参照结合随附各图给出的以下描述，其中：

图1图示了根据本公开的用于激光系统或其它系统的第一示例波导结构；

图2A到2E图示了根据本公开的用于形成图1的波导结构的示例技术；

图3图示了根据本公开的用于激光系统或其它系统的第二示例波导结构；

图4A到4F图示了根据本公开的用于形成图3的波导结构的示例技术；以及

图5图示了根据本公开的具有波导的示例系统。

具体实施方式

以下描述的图1到5以及用于在本专利文献中描述本发明的原理的各种实施例仅作为说明并且不应当以任何方式解读为限制本发明的范围。本领域技术人员将理解到，本发明的原理可以以任何类型的适当布置的设备或系统来实现。

如上文指出，常规激光系统使用各种各样的方案来帮助冷却其激光增益介质。这些方案包括使用直接液体冷却、高级冷却器系统、对波导的几何形状的改变、以及固体的激光器冷却。然而，在所有这些方案中，热界面材料（TIM）典型地被用作常规激光系统中的不同材料之间的界面层。热界面材料表示设计为促进热能的转移的材料。