[发明专利]脱模处理方法、防反射膜的制造方法及脱模处理装置有效

专利信息
申请号: 201680033863.6 申请日: 2016-06-07
公开(公告)号: CN107635740B 公开(公告)日: 2019-11-19
发明(设计)人: 林秀和;松村良三;山田信明 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: B29C33/58 分类号: B29C33/58;B29C33/56;B29C59/04;G02B1/118
代理公司: 44334 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 代理人: 汪飞亚;习冬梅<国际申请>=PCT/JP
地址: 日本国大*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 脱模处理方法包含如下步骤:(a)准备含有具有脱模性的氟系化合物与溶剂的脱模剂、及表面具有多孔氧化铝层(14)的圆筒状或圆柱状的模具(100);(b)向模具的表面赋予脱模剂;及(c)使步骤(b)中赋予的脱模剂干燥。步骤(c)中包含对模具的表面生成在与模具的轴(100z)平行的方向流动的气流(105)的步骤、及使模具以模具的轴为中心旋转的步骤。
搜索关键词: 脱模 处理 方法 反射 制造 装置
【主权项】:
1.一种脱模处理方法,其特征在于,包含如下步骤:/n(a)准备含有具有脱模性的氟系化合物与溶剂的脱模剂、及表面具有多孔氧化铝层的圆筒状或圆柱状的模具;/n(b)向所述模具的所述表面赋予所述脱模剂;及/n(c)干燥步骤,使所述步骤(b)中赋予的所述脱模剂干燥,且包含:将所述模具配置为,具有第1开口与第2开口的圆筒状的罩体的所述第1开口与所述第2开口之间,所述模具的轴与所述罩体的轴大致平行,且从所述模具的轴方向观察时,所述罩体的中心及所述模具的中心大致一致的状态下,若相对于所述模具的所述表面,与所述模具的轴垂直的截面中的所述模具的直径为D(m),则一边生成在与所述模具的轴平行的方向以至少0.05D(m/s)的流速流动的气流,一边使所述模具以所述模具的轴为中心以至少0.5rpm的旋转速度旋转的步骤。/n
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