[发明专利]用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置及方法有效
| 申请号： | 201680027351.9 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN109844964B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 亚历山德罗·沃尔坦;马可·加利亚佐;路易吉·德·桑蒂 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 意大利圣比亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板(10)的装置(100)。所述装置(100)包括：检查组件(110)，所述检查组件经构造以检测第一基板上的第一线路图案(13)的第一尺寸；处理器件(120)，所述处理器件经构造以在所述第一线路图案(13)上方提供第二线路图案(14)，以形成组合的线路图案(12)，其中所述检查组件(110)进一步经构造以检测所述组合的线路图案(12)的第二尺寸；和对准器件(130)，所述对准器件经构造以基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来对准所述处理器件(120)和第二基板中的至少一个。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 太阳能电池 制造 使用 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置，所述装置包括：检查组件，所述检查组件经构造以检测第一基板上的第一线路图案的第一尺寸；处理器件，所述处理器件经构造以在所述第一线路图案上方提供第二线路图案，以形成组合的线路图案，其中所述检查组件进一步经构造以检测所述组合的线路图案的第二尺寸；和对准器件，所述对准器件经构造以基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来对准所述处理器件和第二基板中的至少一个。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
