[发明专利]用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置及方法

权利要求书

1.一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置，所述装置包括：

检查组件，所述检查组件经构造以检测第一基板上的第一线路图案的第一尺寸，所述第一线路图案的所述第一尺寸包括所述第一线路图案的宽度和所述第一线路图案的长度中的至少一个；

处理器件，所述处理器件经构造以在所述第一线路图案上方提供第二线路图案，以形成组合的线路图案，其中所述组合的线路图案包括所述第一线路图案和所述第二线路图案，其中所述检查组件进一步经构造以检测所述组合的线路图案的第二尺寸，所述组合的线路图案的所述第二尺寸包括所述组合的线路图案的宽度和所述组合的线路图案的长度中的至少一个；和

对准器件，所述对准器件经构造以将所述第一尺寸和所述第二尺寸进行比较，和基于比较结果计算X校正值、Y校正值和角校正值中的至少一个，来对准所述处理器件和第二基板中的至少一个。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一线路图案和所述组合的线路图案中的至少一个的宽度是平均宽度或最大宽度，并且其中所述第一线路图案和所述组合的线路图案中的至少一个的长度是平均长度或最大长度。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述检查组件包括一个或多个相机，所述一个或多个相机经构造以检测所述第一尺寸和所述第二尺寸。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述一个或多个相机包括一个或多个第一相机和一个或多个第二相机，所述一个或多个第一相机经构造以检测所述第一尺寸，所述一个或多个第二相机经构造以检测所述第二尺寸，或者其中所述一个或多个相机中的相同相机经构造以检测所述第一尺寸和所述第二尺寸两者。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述装置经构造以确定所述组合的线路图案相对于所述第一线路图案的相对放大。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述处理器件选自包括以下项目的组：印刷头、经构造以用于丝网印刷的印刷头、喷墨式打印机、激光器件，和上述的任何组合。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述装置经构造以在所述第一基板上提供所述第一线路图案。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述装置经构造以在将另一第一线路图案提供在所述第二基板上之前，基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来对准所述处理器件和所述第二基板中的至少一个。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述装置经构造以在将另一第二线路图案提供在所述第二基板上的所述另一第一线路图案上之前，基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来对准所述处理器件和所述第二基板中的至少一个。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述装置经构造以用于双重印刷、多重印刷、喷墨印刷和激光划片中的至少一个。

11.一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的方法，所述方法包括：

检测第一基板上的第一线路图案的第一尺寸，所述第一线路图案的所述第一尺寸包括所述第一线路图案的宽度和所述第一线路图案的长度中的至少一个；

利用处理器件在所述第一线路图案上方提供第二线路图案，以形成组合的线路图案，其中所述组合的线路图案包括所述第一线路图案和所述第二线路图案；

检测所述组合的线路图案的第二尺寸，所述组合的线路图案的所述第二尺寸包括所述组合的线路图案的宽度和所述组合的线路图案的长度中的至少一个；

将所述第一尺寸和所述第二尺寸进行比较；和

基于比较结果计算X校正值、Y校正值和角校正值中的至少一个，来对准所述处理器件和第二基板中的至少一个。

12.根据权利要求11所述的方法，进一步包括：

在所述第一基板上提供所述第一线路图案。