[发明专利]用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置及方法有效
| 申请号: | 201680027351.9 | 申请日: | 2016-10-28 | 
| 公开(公告)号: | CN109844964B | 公开(公告)日: | 2022-12-06 | 
| 发明(设计)人: | 亚历山德罗·沃尔坦;马可·加利亚佐;路易吉·德·桑蒂 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 | 
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 | 
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 | 
| 地址: | 意大利圣比亚*** | 国省代码: | 暂无信息 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 处理 太阳能电池 制造 使用 装置 方法 | ||
提供一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板(10)的装置(100)。所述装置(100)包括:检查组件(110),所述检查组件经构造以检测第一基板上的第一线路图案(13)的第一尺寸;处理器件(120),所述处理器件经构造以在所述第一线路图案(13)上方提供第二线路图案(14),以形成组合的线路图案(12),其中所述检查组件(110)进一步经构造以检测所述组合的线路图案(12)的第二尺寸;和对准器件(130),所述对准器件经构造以基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来对准所述处理器件(120)和第二基板中的至少一个。
技术领域
本公开内容的实施方式涉及一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置,和一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的方法。本公开的实施方式具体涉及用于将材料沉积到在太阳能电池制造中使用的基板上(诸如双重印刷线路图案或印刷太阳能电池的迹线(例如,指状部和/或母线))的装置和方法。
背景技术
太阳能电池是将阳光直接转换成电能的光伏(PV)器件。在这个领域中,已知的是,使用沉积技术(诸如丝网印刷)在基板(诸如结晶硅基底)上生产太阳能电池,从而在太阳能电池的一个或多个表面上实现导电线路图案的结构。线路图案可以随后以多个沉积工艺形成。就所制造的太阳能电池的质量来说,在沉积工艺期间沉积的线路图案应当相对于彼此对准。举例来说,相对于彼此对准的线路图案可影响所制造的太阳能电池的电特性,诸如输出功率。
鉴于上述内容,克服本领域的问题中的至少一些问题、用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的新装置和方法是有益的。本公开内容具体地旨在提供一种允许改进线路图案相对于彼此对准的装置和方法。
发明内容
鉴于上述内容,提供一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置,和一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的方法。本公开内容的进一步的构思、益处和特征从权利要求书、说明书和附图中显而易见。
根据本公开的一个构思,提供一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板(诸如第一基板和第二基板)的装置。所述装置包括:检查组件,所述检查组件经构造以检测第一基板上的第一线路图案的第一尺寸;处理器件,所述处理器件经构造以在所述第一线路图案上方提供第二线路图案,以形成组合的线路图案,其中所述检查组件进一步经构造以检测所述组合的线路图案的第二尺寸;和对准器件,所述对准器件经构造以基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来对准所述处理器件和/或所述第二基板。
根据本公开内容的另一个构思,提供一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板(诸如第一基板和第二基板)的方法。所述方法包括:检测第一基板上的第一线路图案的第一尺寸;在所述第一线路图案上方提供第二线路图案,以形成组合的线路图案;检测所述组合的线路图案的第二尺寸;和基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来对准所述处理器件和/或所述第二基板。
实施方式还针对用于执行所公开的方法并且包括用于执行每个所描述的方法构思的装置部分的装置。这些方法构思可以通过硬件组件,由适当软件编程的计算机,通过上述两者的任意组合或以任何其它方式来执行。此外,根据公开内容的实施方式也针对用于操作所述装置的方法。用于操作所描述的装置的方法包括用于执行装置的每个功能的方法构思。
附图说明
因此,为了能够详细理解本公开内容的上述特征结构所用方式,上文所简要概述的本公开内容的更具体的描述可以参考实施方式而获得。所附附图涉及本公开内容的实施方式,并且描述如下:
图1示出根据本文所述实施方式的用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置的示意图;
图2A和图2B示出根据本文所述实施方式的具有组合的线路图案的太阳能电池;
图3示出根据本文所述实施方式的用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的方法的流程图;
图4A至图4C示出根据本文所述实施方式的用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的方法的序列;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





