[发明专利]物体搬运装置及方法、曝光装置及方法、平板显示器的制造方法、元件制造方法有效

专利信息
申请号: 201680020622.8 申请日: 2016-03-30
公开(公告)号: CN107466381B 公开(公告)日: 2021-03-09
发明(设计)人: 青木保夫;长岛雅幸;山中贵裕 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;B65G49/06;H01L21/677
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 日本东京都*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 基板(P)向基板固持器(28)的搬运方法包括:利用保持垫(84b),对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的一部分进行保持;解除对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的另一部分进行保持的基板搬入手(62)对基板(P)的另一部分的保持;以及对保持着基板(P)的保持垫(84b)向下方进行驱动控制,以使基板(P)支撑在基板固持器(28)的支撑面。由此,可迅速地将基板搬运至基板固持器。
搜索关键词: 物体 搬运 装置 方法 曝光 平板 显示器 制造 元件
【主权项】:
一种物体搬运装置,其特征在于包括:支撑部,具有对物体进行支撑的支撑面;第1保持部,对位于所述支撑面的上方的所述物体的一部分进行保持;第2保持部,对位于所述支撑面的上方的所述物体的另一部分进行保持;以及控制装置,当解除所述第2保持部对所述物体的另一部分的保持时,对保持着所述物体的所述第1保持部向下方进行驱动控制,以使所述物体支撑在所述支撑面。
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