[发明专利]物体搬运装置及方法、曝光装置及方法、平板显示器的制造方法、元件制造方法有效
申请号: | 201680020622.8 | 申请日: | 2016-03-30 |
公开(公告)号: | CN107466381B | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 青木保夫;长岛雅幸;山中贵裕 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;B65G49/06;H01L21/677 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本东京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 基板(P)向基板固持器(28)的搬运方法包括:利用保持垫(84b),对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的一部分进行保持;解除对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的另一部分进行保持的基板搬入手(62)对基板(P)的另一部分的保持;以及对保持着基板(P)的保持垫(84b)向下方进行驱动控制,以使基板(P)支撑在基板固持器(28)的支撑面。由此,可迅速地将基板搬运至基板固持器。 | ||
搜索关键词: | 物体 搬运 装置 方法 曝光 平板 显示器 制造 元件 | ||
【主权项】:
一种物体搬运装置,其特征在于包括:支撑部,具有对物体进行支撑的支撑面;第1保持部,对位于所述支撑面的上方的所述物体的一部分进行保持;第2保持部,对位于所述支撑面的上方的所述物体的另一部分进行保持;以及控制装置,当解除所述第2保持部对所述物体的另一部分的保持时,对保持着所述物体的所述第1保持部向下方进行驱动控制,以使所述物体支撑在所述支撑面。
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