[发明专利]物体搬运装置及方法、曝光装置及方法、平板显示器的制造方法、元件制造方法

说明书

基板(P)向基板固持器(28)的搬运方法包括：利用保持垫(84b)，对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的一部分进行保持；解除对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的另一部分进行保持的基板搬入手(62)对基板(P)的另一部分的保持；以及对保持着基板(P)的保持垫(84b)向下方进行驱动控制，以使基板(P)支撑在基板固持器(28)的支撑面。由此，可迅速地将基板搬运至基板固持器。

技术领域

本发明是有关于一种物体搬运装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、物体搬运方法以及曝光方法，更详细而言，是有关于一种将物体搬运至支撑面上的物体搬运装置及方法、包含所述物体搬运装置的曝光装置、包含所述物体搬运方法的曝光方法、利用所述曝光装置或曝光方法的平板显示器或元件的制造方法。

背景技术

先前，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微型元件(micro device))的微影(lithography)步骤中，一直使用一面使遮罩(mask)或标线(reticle)(以下统称作「遮罩」)与玻璃板或晶圆(以下统称作「基板」)沿既定的扫描方向同步移动，一面利用能量束(energy beam)将形成于遮罩上的图案转印至基板上的步进扫描(step and scan)方式的曝光装置(所谓的扫描步进器(scanning stepper)(亦称作扫描器(scanner)))等。

作为此种曝光装置，已知有如下装置：利用基板更换装置搬出基板平台装置上的曝光完毕的玻璃基板之后，利用所述基板更换装置将另一个玻璃基板搬入至基板平台装置上，由此依次更换保持于基板平台装置的玻璃基板，对多个玻璃基板依次进行曝光处理(例如参照专利文献1)。

此处，当对多个玻璃基板进行曝光时，为了提高整体产出量(throughput)，较佳为迅速地更换基板平台装置上的玻璃基板。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]美国专利第6,559,928号说明书

发明内容

[解决课题的手段]

本发明是基于上述情况而完成的，自第1观点而言，本发明是第1物体搬运装置，包括：支撑部，具有对物体进行支撑的支撑面；第1保持部，对位于所述支撑面的上方的所述物体的一部分进行保持；第2保持部，对位于所述支撑面的上方的所述物体的另一部分进行保持；以及控制装置，若解除所述第2保持部对所述物体的另一部分的保持，则对保持着所述物体的所述第1保持部向下方进行驱动控制，以使所述物体支撑在所述支撑面。

自第2观点而言，本发明是第2物体搬运装置，包括：支撑部，具有对物体进行支撑的支撑面；第1保持部，对所述物体的一部分进行保持；以及控制装置，对保持着位于所述支撑面的上方的所述物体的所述第1保持部，基于所述物体的另一部分的落下而向下方进行驱动控制，以使所述物体支撑在所述支撑面。

自第3观点而言，本发明是第3物体搬运装置，包括：支撑部，具有对物体进行支撑的支撑面；第1保持部，对位于所述支撑面的上方的所述物体的一部分进行保持；第2保持部，对位于所述支撑面的上方的所述物体的另一部分进行保持；以及控制装置，在所述第1保持部保持着所述物体的一部分的状态下，进行驱动控制，以使所述第2保持部在悬浮保持着所述物体的另一部分的状态下自所述物体的另一部分退避。

自第4观点而言，本发明是一种曝光装置，包括：本发明的第1至第3物体搬运装置中的任一个物体搬运装置；以及图案形成装置，利用能量束对保持于所述保持面上的所述物体形成既定的图案。

自第5观点而言，本发明是一种平板显示器的制造方法，包括：利用本发明的曝光装置对基板进行曝光；以及使经曝光的所述基板显影。

自第6观点而言，本发明是一种元件制造方法，包括：利用本发明的曝光装置对所述物体进行曝光；以及使经曝光的所述物体显影。