[发明专利]物体搬运装置及方法、曝光装置及方法、平板显示器的制造方法、元件制造方法

权利要求书

1.一种物体搬运装置，将物体向具有能支撑所述物体的支撑面的支撑部搬运，其特征在于包括：

第1保持部，能于所述支撑面的上方，于与上下方向交叉的既定方向，对所述物体的一侧的第1区域进行保持；

第2保持部，于所述既定方向，对所述物体的另一侧的第2区域进行保持；

搬运装置，以将被保持于所述第2保持部的所述物体中所述第2保持部保持的区域以外的区域由所述第1保持部保持的方式，将保持所述物体的所述第2保持部向所述支撑面的上方搬运；

搬出装置，将与所述物体不同且被支撑于所述支撑面上的另一物体保持，于所述既定方向自一侧向另一侧移动，将所述另一物体自所述支撑面上搬出；以及

控制装置，当从通过所述第1保持部与所述第2保持部而保持着所述物体的状态，解除所述第2保持部对所述物体的保持时，对保持着所述物体的所述第1保持部向下方进行驱动控制，以在所述另一物体已被搬出的所述支撑面支撑所述物体；

所述控制装置以与通过由所述搬出装置进行的、于所述既定方向上的自一侧向另一侧的移动而将所述另一物体自所述支撑面搬出的搬出动作的至少一部分并行地，解除由所述第2保持部进行的所述第2区域的保持的方式驱动所述搬运装置，使所述第2保持部从所述物体的下方退避，对保持所述第1区域的所述第1保持部向下方进行驱动控制。

2.根据权利要求1所述的物体搬运装置，其特征在于：其中所述控制装置对所述第1保持部基于所述第2区域的落下而向下方进行驱动控制。

3.根据权利要求1或2所述的物体搬运装置，其特征在于其中

所述第2保持部对所述第2区域以可悬浮保持的方式进行保持，

所述控制装置对所述第2保持部进行驱动，以使其在悬浮保持着所述第2区域的状态下自所述第2区域退避。

4.根据权利要求1或2所述的物体搬运装置，其特征在于：其中所述控制装置对所述第1保持部进行驱动，以使所述物体不会因介于所述物体与所述支撑面之间的气体而产生变形。

5.根据权利要求4所述的物体搬运装置，其特征在于：其中

所述支撑部包括：供给孔，自所述支撑面对所述物体供给气体；以及吸引孔，吸引所述支撑面与所述物体之间的气体；且

使支撑于所述支撑部的所述物体与所述支撑面之间的气体的量发生变化。

6.根据权利要求1或2所述的物体搬运装置，其特征在于其更包括：

驱动装置，对所述支撑部进行驱动；且

所述驱动装置可沿着与所述支撑面平行的面移动，

所述第1保持部可相对于所述支撑部以既定的位置关系沿着所述面移动。

7.根据权利要求6所述的物体搬运装置，其特征在于：其中所述控制装置在所述支撑部被所述驱动装置驱动时，对所述第1保持部进行驱动。

8.根据权利要求7所述的物体搬运装置，其特征在于：其中所述第1保持部设置在所述支撑部。

9.根据权利要求6所述的物体搬运装置，其特征在于：其中所述驱动装置是自对支撑在所述支撑面的所述物体进行处理的位置以及使所述物体支撑在所述支撑面的位置中的一个位置向另一个位置驱动所述支撑部。

10.根据权利要求1或2所述的物体搬运装置，其特征在于：其中所述第1保持部在拘束了所述物体的平行于与所述上下方向交叉的二维平面的方向的位置的状态下，与所述物体一并向下方移动。

11.根据权利要求10所述的物体搬运装置，其特征在于：其中所述第1保持部相对于所述支撑面，对所述物体的平行于与上下方向交叉的二维平面的方向上的位置进行位置调整。

12.根据权利要求11所述的物体搬运装置，其特征在于：其中所述支撑部在所述位置调整时，使气体介于所述支撑面与所述物体之间而对所述物体进行非接触支撑。