[发明专利]研磨料的回收方法在审
申请号: | 201680016348.7 | 申请日: | 2016-03-09 |
公开(公告)号: | CN107427990A | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 乾智惠;前泽明弘;永井佑树;平山奈津实 | 申请(专利权)人: | 柯尼卡美能达株式会社 |
主分类号: | B24B57/02 | 分类号: | B24B57/02;B24B37/34 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 岳雪兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种研磨料的回收方法,能够通过简单的方法从含有使用后的研磨料的回收浆料中回收高纯度的研磨料。本发明的研磨料的回收方法从对被研磨物进行了研磨的研磨料浆料中回收研磨料,该被研磨物包含硅作为主要成分,在不使用pH调整剂的条件下,至少经过以下工序1至工序3将被研磨物成分除去而对研磨料进行回收,其中,工序1是向所述研磨料浆料加入溶剂的工序,工序2是使所述研磨料浆料所含有的所述被研磨物成分中的被研磨物粒子溶解的工序,工序3是对所述研磨料浆料进行过滤而将研磨料回收的工序。 | ||
搜索关键词: | 研磨 回收 方法 | ||
【主权项】:
一种研磨料的回收方法,从对被研磨物进行了研磨的研磨料浆料中回收研磨料,该被研磨物包含硅作为主要成分,该研磨料的回收方法的特征在于,在不使用pH调整剂的条件下,至少经过以下工序1至工序3将被研磨物成分除去,对研磨料进行回收,其中,工序1是向所述研磨料浆料加入溶剂的工序,工序2是使所述研磨料浆料所含有的所述被研磨物成分中的被研磨物粒子溶解的工序,工序3是对所述研磨料浆料进行过滤而将研磨料回收的工序。
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