[发明专利]研磨料的回收方法

权利要求书

1.一种研磨料的回收方法，从对被研磨物进行了研磨的研磨料浆料中回收研磨料，该被研磨物包含硅作为主要成分，该研磨料的回收方法的特征在于，

在不使用pH调整剂的条件下，至少经过以下工序1至工序3将被研磨物成分除去，对研磨料进行回收，

其中，

工序1是向所述研磨料浆料加入溶剂的工序，

工序2是使所述研磨料浆料所含有的所述被研磨物成分中的被研磨物粒子溶解的工序，

工序3是对所述研磨料浆料进行过滤而将研磨料回收的工序。

2.根据权利要求1所述的研磨料的回收方法，其特征在于，

根据所述研磨料浆料所含有的被研磨物成分的浓度，对在所述工序1和所述工序2中添加的溶剂量进行调整。

3.根据权利要求2所述的研磨料的回收方法，其特征在于，

向所述研磨料浆料加入所述溶剂而进行调整，以使所述被研磨物成分的浓度达到所述被研磨物的饱和溶解度的1.8倍以下。

4.根据权利要求1至权利要求3中任一项所述的研磨料的回收方法，其特征在于，

在所述工序2中，向所述研磨料浆料加入所述溶剂后，进行加温。

5.根据权利要求4所述的研磨料的回收方法，其特征在于，

以所述研磨料浆料的温度达到40～90℃的范围内的方式进行加温。