[发明专利]薄膜形成装置

摘要

提供一种低成本且量产性较高的薄膜形成装置。在成膜室（11）的内部配置由转台构成的旋转装置（21），在对准场所（16）上进行了成膜对象物（5a、5b）的对准之后，在设于旋转装置（21）的基板支架（34a、34b）上配置进行了与掩模（4a、4b）之间的对准的成膜对象物（5a、5b），使旋转装置（21）旋转而移动到成膜场所（15）上。接着，使成膜源（22）一边释放成膜材料的微小粒子一边移动，在成膜场所（15）上的成膜对象物（5a、5b）上形成薄膜。此时，能够在对准场所（16）上配置未成膜的成膜对象物（5a、5b）并进行对位。因此，在本薄膜形成装置（10）中，有一个成膜源（22）和一个对准所需的装置即可。

主权项

1.一种薄膜形成装置，其特征在于，该薄膜形成装置具有：成膜室；旋转装置，其配置于上述成膜室内，设有配置掩模与成膜对象物的多个基板支架，并在上述成膜室内旋转；主拍摄装置，其对配置在位于对准场所的上述基板支架上的上述掩模以及与上述掩模相面对的上述成膜对象物进行拍摄；控制装置，其根据上述主拍摄装置的拍摄结果，求出上述掩模与上述成膜对象物之间的第一位置误差，使上述成膜对象物移动，以便减小上述第一位置误差，以进行了对位的状态将上述成膜对象物配置于上述掩模；成膜源，其配置于上述成膜室的内部，释放成膜材料的微小粒子；以及成膜源移动装置，其使上述成膜源在上述成膜室的内部移动并通过与成膜场所相面对的场所，借助上述旋转装置的旋转，进行了对位的上述掩模与上述成膜对象物从上述对准场所被移动到上述成膜场所，上述成膜源一边释放上述微小粒子一边通过与上述成膜场所相面对的场所，上述微小粒子通过上述基板支架的贯通孔与上述掩模的窗部而到达上述成膜对象物，形成薄膜，设有对位于上述成膜场所的上述掩模与上述成膜对象物进行拍摄的辅助拍摄装置，根据上述辅助拍摄装置所拍摄到的结果，求出上述成膜对象物与上述掩模之间的第二位置误差。