[发明专利]薄膜形成装置

说明书

提供一种低成本且量产性较高的薄膜形成装置。在成膜室（11）的内部配置由转台构成的旋转装置（21），在对准场所（16）上进行了成膜对象物（5a、5b）的对准之后，在设于旋转装置（21）的基板支架（34a、34b）上配置进行了与掩模（4a、4b）之间的对准的成膜对象物（5a、5b），使旋转装置（21）旋转而移动到成膜场所（15）上。接着，使成膜源（22）一边释放成膜材料的微小粒子一边移动，在成膜场所（15）上的成膜对象物（5a、5b）上形成薄膜。此时，能够在对准场所（16）上配置未成膜的成膜对象物（5a、5b）并进行对位。因此，在本薄膜形成装置（10）中，有一个成膜源（22）和一个对准所需的装置即可。

技术领域

本发明涉及薄膜形成装置的技术领域，特别涉及高效地形成薄膜的薄膜形成装置。

背景技术

在玻璃基板等大型的成膜对象物上形成成膜材料的薄膜时，广泛使用如下技术：将成膜对象物配置于真空室内，一边从成膜源释放成膜材料的蒸气等微小粒子，一边使其在与成膜对象物对置的位置移动，使微小粒子附着于成膜对象物的表面。

图6的附图标记110是该技术的薄膜形成装置，在输送室112的周围配置有两个成膜室111a、111b和多个真空室113，各室111a、111b、113连接于输送室112。

在两个成膜室111a、111b的内部分别配置有基板支架121，在基板支架121的上方配置有相机等拍摄装置135，在下方配置有成膜源122。

成膜源122安装于成膜源移动装置131，若成膜源移动装置131动作，则成膜源122在基板支架121的下方位置沿水平方向往复移动。

在输送室112的内部配置有由基板输送机器人构成的基板移动装置125。图6（b）的附图标记105a示出了被基板移动装置125搬入到成膜室111a的内部、并配置在基板支架121上的成膜对象物。

在该成膜对象物105a被搬入到成膜室111a内时，在被配置到基板支架121上之前，在成膜室111a的内部被配置于对准移动装置（未图示），在该状态下，由拍摄装置135对成膜对象物105a的对准标记与基板支架121的对准标记进行拍摄，拍摄结果被输出到控制装置136，成膜对象物105a与基板支架121之间的位置误差被检测出，成膜对象物105a利用控制装置136以使位置误差变小的方式移动，以位置误差变小的状态配置到基板支架121上。

在基板支架121上设有贯通孔，配置于基板支架121的成膜对象物105a的表面在贯通孔的底面露出。

在成膜源122的表面中的与成膜对象物105a相面对的部分设有多个释放孔123，若一边从释放孔123释放成膜材料的微小粒子一边利用成膜源移动装置131移动成膜源122，则微小粒子到达在成膜对象物105a的贯通孔底面露出的表面，附着而生长出薄膜。

在图6（b）中，在在一个成膜室111a的内部在成膜对象物105a的表面形成薄膜的期间，载置于基板移动装置125的成膜对象物105b被搬入到另一个成膜室111b的内部。

这样，在图6（a）、图6（b）的薄膜形成装置110中，在在一个成膜室111a的内部在成膜对象物105a的表面形成薄膜的期间，能够向另一个成膜室111b的内部搬入未成膜的成膜对象物105b，并进行成膜对象物105b的对位，因此能够不中断向成膜对象物105a、105b的成膜工序。

然而，在该薄膜形成装置110中，虽然两个成膜室111a、111b共用一个基板移动装置125，但在两个成膜室111a、111b的内部分别配置有成膜源122和成膜源移动装置131，不会实现低成本。

在图7（a）的薄膜形成装置210中，在输送室212的周围连接有一个成膜室211与多个真空室214，并在该一个成膜室211的内部配置有两个基板支架221a、221b。