[发明专利]单晶提拉装置的清洗方法及其清洗用具和单晶的制造方法有效
| 申请号： | 201680007916.7 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN107208306B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 冲田宪治 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张雨;刘林华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够去除腔室内的异物而抑制位错化的单晶提拉装置的清洗方法。基于本发明的单晶提拉装置的清洗方法中，准备模仿了包括模仿了坩埚内的原料熔液的液面的仿制液面、及模仿了从所述原料熔液的液面向上方提拉途中的单晶锭的第1仿制锭的所述坩埚的仿制坩埚，并以在单晶提拉装置的已被减压的腔室内设置有所述仿制坩埚的状态供给惰性气体，使受到了所述仿制坩埚的影响的惰性气体的流动产生，以使附着在所述腔室的壁面或所述腔室内的组件上的异物脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶提拉 装置 清洗 方法 及其 用具 制造 | ||
【主权项】：
一种单晶提拉装置的清洗方法，其特征在于，具有如下清洗工序：准备模仿了包括模仿了坩埚内的原料熔液的液面的仿制液面、及模仿了从所述原料熔液的液面向上方提拉途中的单晶锭的第1仿制锭的所述坩埚的仿制坩埚，并以在单晶提拉装置的已被减压的腔室内设置有所述仿制坩埚的状态供给气体，使受到了所述仿制坩埚的影响的所述气体的流动产生，以使附着在所述腔室的壁面或所述腔室内的组件上的异物脱落。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于胜高股份有限公司，未经胜高股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680007916.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便携式土工试验的夹具
- 下一篇：一种新型后视镜雨刷
