[发明专利]真空泵

摘要

在具有固定圆板的真空泵中，所述固定圆板具有分割构造，使在接合该分割构造的接合面上产生的间隙或偏差变少。在涉及本实施方式的涡轮分子泵中，使固定圆板与对芯（中心对准）的固定部件的配合关系与以往相反。即，在基座与固定圆板的嵌合构造中，借助由基座的内周面将固定圆板的外周面推入而接合（从外侧约束）的构造进行中心对准（定位/定心）。此外，将固定圆板的配合构造用一体零件构成。进而，另外设置固定翼与具有西格班构造的固定圆板的配合位置。

主权项

一种真空泵，具备：外装体，其形成有吸气口和排气口；旋转轴，其被前述外装体包围在内部，被旋转自如地支承；旋转圆板状部，其以放射状配设在前述旋转轴或旋转圆筒体的外周面上，所述旋转圆筒体配设在前述旋转轴上；固定圆板状部，其经由间隙在轴向上与前述旋转圆板状部对置，并且同心地配置；间隔部，其将前述固定圆板状部固定；真空排气机构，其借助前述旋转圆板状部和前述固定圆板状部的相互作用，将从前述吸气口侧吸入的气体向前述排气口侧移送；其特征在于，前述固定圆板状部借助前述固定圆板状部的外周面和前述间隔部的内周面定位。