[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，具备：

外装体，其形成有吸气口和排气口；

旋转轴，其被前述外装体包围在内部，被旋转自如地支承；

旋转圆板状部，其以放射状配设在前述旋转轴或旋转圆筒体的外周面上，所述旋转圆筒体配设在前述旋转轴上；

固定圆板状部，其经由间隙在轴向上与前述旋转圆板状部对置，并且同心地配置；

间隔部，其将前述固定圆板状部固定；

真空排气机构，其借助前述旋转圆板状部和前述固定圆板状部的相互作用，将从前述吸气口侧吸入的气体向前述排气口侧移送；

其特征在于，

前述固定圆板状部具有分割构造，借助前述固定圆板状部的外周面和前述间隔部的内周面定位，前述固定圆板状部的分割面彼此接触，从而在前述固定圆板状部的内周形成流路。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述固定圆板状部在该固定圆板状部的外周面的一部分上具备突起部。

3.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述固定圆板状部被前述间隔部的前述内周面从外周侧施加压力而固定。

4.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述固定圆板状部被前述间隔部的前述内周面从外周侧施加压力而固定。

5.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，

前述固定圆板状部被前述间隔部的前述内周面施加的前述压力，被施加在前述固定圆板状部的前述外周面的一部分上。

6.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

在前述固定圆板状部的外周侧的上端或下端的角部上具有避让构造。

7.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

在前述固定圆板状部的外周侧的上端或下端的角部上具有避让构造。

8.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，

在前述固定圆板状部的外周侧的上端或下端的角部上具有避让构造。

9.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述外装体具有壳体部和基座部，所述壳体部形成有前述吸气口，所述基座部形成有前述排气口；

前述间隔部中的距前述排气口侧最近地配设的第1间隔部与前述基座部一体地构成。

10.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述外装体具有壳体部和基座部，所述壳体部形成有前述吸气口，所述基座部形成有前述排气口；

前述间隔部中的距前述排气口侧最近地配设的第1间隔部与前述基座部一体地构成。

11.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，

前述外装体具有壳体部和基座部，所述壳体部形成有前述吸气口，所述基座部形成有前述排气口；

前述间隔部中的距前述排气口侧最近地配设的第1间隔部与前述基座部一体地构成。

12.如权利要求6所述的真空泵，其特征在于，

前述外装体具有壳体部和基座部，所述壳体部形成有前述吸气口，所述基座部形成有前述排气口；

前述间隔部中的距前述排气口侧最近地配设的第1间隔部与前述基座部一体地构成。

13.如权利要求9所述的真空泵，其特征在于，

还具备与前述旋转圆板状部设有既定间隔而配置的固定翼；

前述固定翼借助第2间隔部的内周面定位，所述第2间隔部与将前述固定圆板状部定位的前述第1间隔部不同。

14.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述旋转圆板状部或前述固定圆板状部是在至少一方的前述轴向上的对置面的至少一部分上配设有螺旋状槽的西格班型，所述螺旋状槽具有谷部和山部。