[发明专利]真空泵

说明书

在具有固定圆板的真空泵中，所述固定圆板具有分割构造，使在接合该分割构造的接合面上产生的间隙或偏差变少。在涉及本实施方式的涡轮分子泵中，使固定圆板与对芯（中心对准）的固定部件的配合关系与以往相反。即，在基座与固定圆板的嵌合构造中，借助由基座的内周面将固定圆板的外周面推入而接合（从外侧约束）的构造进行中心对准（定位/定心）。此外，将固定圆板的配合构造用一体零件构成。进而，另外设置固定翼与具有西格班构造的固定圆板的配合位置。

技术领域

本发明涉及真空泵。详细地讲，涉及具备固定圆板的真空泵，所述固定圆板具有分割构造。

背景技术

真空泵中的具有西格班型结构的西格班型分子泵在旋转圆板或固定圆板的至少某一方的与间隙对置的表面上，刻设有螺旋槽（也称作螺旋状槽或漩涡状槽）流路，所述固定圆板与该旋转圆板在轴向上具有间隙（余隙）而设置。

并且，对扩散进入到螺旋槽流路内的气体分子借助旋转圆板赋予旋转圆板切线方向（即，旋转圆板的旋转方向的切线方向）的动量，由此借助螺旋槽从吸气口朝向排气口赋予占优的方向性而进行排气。

专利文献1：日本实用新型注册公报第2501275号公报。

专利文献2：日本特开2011－074903号公报。

专利文献3：日本特许第5062257号公报。

在专利文献1中，记载了西格班型真空泵。

在专利文献2中，记载了以下结构：在涡轮分子泵中，为了实现零件件数的削减及组装作业的效率化，多级的固定翼的至少一级由以在周向上相接的方式配置的多个分割固定翼构成，分割固定翼配设多个翼叶片和圆弧状的间隔部，由此不需要以往的间隔环，所述多个翼叶片沿周向并列设置，所述间隔部用来将该翼叶片的外周部连结而定位在既定位置。

在专利文献3中，记载了以下结构：为了容易将排气口侧的固定翼及间隔环依次层叠，使间隔环的内径比最大外径大。

图6至图11是用来说明以往技术的图。

图7及图8是从排气口6侧观察图6的b－b截面时的剖视图。

图8（b）是将图8（a）的γ部放大的图。

图10是将图9的δ部放大的图，图11是用来说明图9中图示的涡轮分子泵1000的组装时的图。

如图6所示，具有专利文献1所记载的那样的西格班构造的作为西格班型泵的涡轮分子泵1000与霍尔维克型泵相比，能够使涡轮分子泵1000的轴向的高度尺寸变紧凑。

另一方面，在涡轮分子泵1000中采用多级西格班构造的情况下，以插入到上下的旋转翼9的级间的方式配置的固定圆板5000为了能够从旋转翼9的侧方组装，需要如图7所示那样设为分割为以轴线n为切断面的半圆形状的分割构造。

并且，在压力变高的部分（例如，排气口6侧）采用具有这样的分割构造的固定圆板5000的情况下，排气的气体如在图6中用箭头表示的那样从固定圆板5000的将分割构造接合的端面（以后称作接合端面）逆流，结果，有排气性能下降的问题。

此外，如图8（a）及图8（b）所示，在固定圆板5000侧设有螺旋状槽的情况下，如果在接合端面（轴线l）处产生偏差，则螺旋状槽的连续性受损，结果，有可能不能得到如设计那样的排气性能。

作为用来防止上述那样的接合端面（或接合端部）处的性能下降的构造，有在专利文献2中记载的构造。

在上述专利文献2所记载的技术中，如在图9及图10中图示的那样，固定圆板5100配设为在作为用来定位的固定部件的间隔环7000的外周侧相接，配设为被上下的间隔环7000夹入。即，间隔环7000的外周面成为与固定圆板5100的配合（インロー）位置（E）。