[发明专利]压力控制装置有效
| 申请号： | 201680003808.2 | 申请日： | 2016-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN107003684B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 野泽崇浩;中村刚 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20;G05B11/36 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种压力控制装置，即便是在相对于气体的控制流量，腔室的容积大的情况，或者是流量控制阀与腔室之间的配管长的情况下，也可以把腔室内的压力保持为恒定。压力控制装置1，把腔室3内的压力保持在设定压力，具备：频率特性校正电路20，把表示经由压力传感器4所检测出的腔室3内的压力之压力信号，校正为接近表示设定压力之设定压力信号；比较电路21，对校正过的前述压力信号、与前述设定压力信号进行比较；以及，阀驱动电路22，根据由比较单元21所致之比较结果，控制流量控制阀14的开闭。频率特性校正电路20为滤波电路，其频率特性在指定的频率具有峰值，把压力信号校正为提升压力信号的指定的频率的成分。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种压力控制装置，把被压力控制对象内保持在设定压力，具备：校正单元，把表示经由压力传感器所检测出的被压力控制对象内的压力之压力信号，校正为接近表示前述设定压力之设定压力信号；比较单元，对校正过的前述压力信号、与前述设定压力信号进行比较；以及阀驱动单元，根据由前述比较单元所致之比较结果，控制流量控制阀的开闭；前述校正单元为滤波电路，其频率特性在指定的频率具有峰值，把前述压力信号校正为提升前述压力信号的前述指定的频率的成分。
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