[发明专利]压力控制装置

权利要求书

1.一种压力控制装置，把被压力控制对象内保持在设定压力，具备：

校正单元，把表示经由压力传感器检测出的被压力控制对象内的压力之压力信号，校正为接近表示前述设定压力的设定压力信号；

比较单元，对校正过的前述压力信号、与前述设定压力信号进行比较；以及

阀驱动单元，根据由前述比较单元所致的比较结果，控制流量控制阀的开闭；

其中，前述校正单元为滤波电路，其频率特性在指定的频率具有峰值，把前述压力信号校正为提升前述压力信号的前述指定的频率的成分，

其中，滤波电路的指定的频率根据配管的气体的流量与腔室的容积的关系、和/或前述腔室与前述压力控制装置之间的配管的长度而决定，以对检测的压力信号进行校正。

2.如权利要求1的压力控制装置，其特征在于，

在前述压力信号表示比前述设定压力信号大的值、且变化为减小时，前述压力信号利用前述校正单元校正为其值变小。

3.如权利要求1的压力控制装置，其特征在于，

在前述压力信号表示比前述设定压力信号小的值、且变化为增大时，前述压力信号利用前述校正单元校正为其值变大。