[实用新型]石英舟及其石英舟组件有效
| 申请号： | 201621490129.6 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206349345U | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 周福龙;李刚;吕飞;许洪玉 | 申请（专利权）人： | 吉林麦吉柯半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 郭俊霞 |
| 地址： | 132000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英舟及其石英舟组件，其通过在石英舟上设置石英舟本体、第一支撑杆、第二支撑杆、第一固定架以及第二固定架，并在石英舟本体上设置50个相互平行且等距的用于放置晶圆的石英舟槽，降低了晶圆装卸过程中的劳动强度，实现了石英舟与自动设备配套装卸晶圆，降低晶圆装卸过程中的异常。同时石英舟组件其能够装载多个石英舟，更好地配合作业，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 及其 组件 | ||
【主权项】：
一种石英舟，其特征在于，包括石英舟本体、第一支撑杆、第二支撑杆、第一固定架以及第二固定架，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆均沿长度方向设置于所述石英舟本体的底部，所述第一固定架与所述第二固定架分别沿长度方向连接于所述石英舟本体的相对的两侧，所述石英舟本体为槽体，所述槽体的槽面为弧面，所述槽面沿其长度方向设置有50个相互平行且等距的用于放置晶圆的石英舟槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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