[实用新型]石英舟及其石英舟组件

权利要求书

1.一种石英舟，其特征在于，包括石英舟本体、第一支撑杆、第二支撑杆、第一固定架以及第二固定架，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆均沿长度方向设置于所述石英舟本体的底部，所述第一固定架与所述第二固定架分别沿长度方向连接于所述石英舟本体的相对的两侧，所述石英舟本体为槽体，所述槽体的槽面为弧面，所述槽面沿其长度方向设置有50个相互平行且等距的用于放置晶圆的石英舟槽。

2.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第一固定架到所述第二固定架之间的距离为105～110mm，所述槽体的横断面对应弧长的圆心角为115～120°。

3.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述槽体上的所述石英舟槽的深度为33～33.5mm。

4.根据权利要求3所述的石英舟，其特征在于，所述槽体上的所述石英舟槽的宽度为0.7～0.8mm，每相邻的两个所述石英舟槽之间的距离为2.35～2.40mm。

5.根据权利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述槽体上的所述石英舟槽的夹角为55～65°。

6.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第一支撑杆和所述第二支撑杆均为管状的支撑杆，所述第一支撑杆和所述第二支撑杆均连接于所述石英舟本体的所述底部。

7.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第一固定架以及所述第二固定架均为中空管状的固定架，所述第一固定架以及所述第二固定架均连接于所述石英舟本体的所述两侧。

8.根据权利要求7所述的石英舟，其特征在于，所述第一固定架和所述第二固定架均焊接于所述石英舟本体的所述两侧，且焊点的保证厚度为6mm。

9.一种石英舟组件，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的石英舟以及用于放置所述石英舟的石英舟架。

10.根据权利要求9所述的石英舟组件，其特征在于，所述石英舟架包括多根支撑腿、用于放置多个所述石英舟的支撑架，多根所述支撑腿与所述支撑架连接。