[实用新型]一种机械手装置有效
| 申请号： | 201621465947.0 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN206532763U | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 任大清 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人： | 吴世华,陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示一种机械手装置，所述机械手装置包括基座；机械臂，设置于所述基座上，所述机械臂包括定位臂；至少一个可更换手，可拆卸地连接所述定位臂；以及锁定机构，用于将所述可更换手与所述定位臂锁定连接或解锁拆卸，所述锁定机构包括锁定凹槽，设置于所述定位臂上；锁定部件，设置于所述可更换手上，通过将所述锁定部件卡接于所述锁定凹槽中，以锁定连接所述可更换手和所述定位臂。该机械手装置可以通过对其可更换手进行更换来分别搬运工艺处理前和工艺处理后的硅片，在隔绝搬运沾污传播同时，降低成本，提高搬运效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 装置 | ||
【主权项】：
一种机械手装置，其特征在于，所述机械手装置包括：基座；机械臂，设置于所述基座上，所述机械臂包括定位臂；至少一个可更换手，可拆卸地连接所述定位臂；以及锁定机构，用于将所述可更换手与所述定位臂锁定连接或解锁拆卸，所述锁定机构包括：锁定凹槽，设置于所述定位臂上；锁定部件，设置于所述可更换手上，通过将所述锁定部件卡接于所述锁定凹槽中，以锁定连接所述可更换手和所述定位臂。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
