[实用新型]一种机械手装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路制造设备领域，特别涉及一种可换手的机械手装置。

背景技术

随着半导体集成电路制造技术的发展，对硅片的沾污控制的要求也越来越高。目前通用的设备中，一般采用单手臂机械手装置来对硅片进行搬运。为了使硅片隔绝沾污传播，通常硅片的搬运需要至少两个单手臂机械手装置来分别对工艺处理前和工艺处理后的硅片进行搬运。该搬运的方式不仅成本较大，而且还需要浪费较大的空间来放置这些单手臂机械手装置。

此外，虽然可以采用多手臂机械手装置来替代上述的多个单手臂机械手装置，但是由于多手臂机械手装置结构较为复杂，因此，仍然会存在成本高，空间限制等问题。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种机械手装置。该机械手装置可以通过对其可更换手进行更换来分别搬运工艺处理前和工艺处理后的硅片，在隔绝搬运沾污传播同时，降低成本，提高搬运效率。

根据本实用新型的一个方面提供一种机械手装置，所述机械手装置包括：基座；机械臂，设置于所述基座上，所述机械臂包括定位臂；至少一个可更换手，可拆卸地连接所述定位臂；以及锁定机构，用于将所述可更换手与所述定位臂锁定连接或解锁拆卸，所述锁定机构包括：锁定凹槽，设置于所述定位臂上；锁定部件，设置于所述可更换手上，通过将所述锁定部件卡接于所述锁定凹槽中，以锁定连接所述可更换手和所述定位臂。

可选地，所述可更换手为单片手或多片手，所述可更换手包括：本体；以及至少一个叉指状手，设置于所述本体的一侧；其中，所述锁定机构包括两个锁定部件和两个锁定凹槽，两个所述锁定部件分别设置于所述本体的两端，两个所述锁定凹槽设置于所述定位臂的两端。

可选地，所述可更换手为多片手，所述可更换手包括多个叉指状手，所述多个叉指状手堆叠设置于所述本体的一侧。

可选地，所述机械手装置包括至少一存放装置，用于控制所述锁定机构锁定连接或解锁解锁所述可更换手、并存放锁定连接前或解锁拆卸后的所述可更换手，其中，所述存放装置包括：一容置空间；一开口部，设置于所述容置空间的一侧；接联控制装置，设置于所述开口部，且在所述可更换手存放于所述存放装置内的过程中与所述锁定部件连接，控制所述锁定部件卡入或移出所述锁定凹槽，以锁定连接或解锁拆卸所述可更换手和所述定位臂。

可选地，所述存放装置还包括压力传感器，所述压力传感器设置于远离所述开口部一侧的内壁，所述压力传感器用于侦测放置于所述容置空间内的所述可更换手的位置。

可选地，所述压力传感器与所述接联控制装置连接，驱动所述接联控制装置控制所述锁定部件卡入或移出所述锁定凹槽。

可选地，所述机械手装置包括多个存放装置，多个所述存放装置之间平铺设置或堆叠设置。

可选地，所述机械手装置包括多个可更换手，多个所述可更换手分别存放于各个所述存放装置中，其中，至少一个所述可更换手通过所述存放装置与定位臂锁定连接。

可选地，所述机械手装置包括定位机构，对所述可更换手进行定位，所述定位机构包括：定位孔，设置于所述本体的与所述叉指状手相背的另一侧；和定位销，设置于所述定位臂的与所述可更换手连接的一侧。

可选地，所述定位机构包括两个定位孔以及与两个所述定位孔相对应的定位销。

相比于现有技术，本实用新型实施例提供的机械手装置通过锁定机构(包括锁定凹槽和锁定部件)将可更换手与定位臂锁定连接或解锁拆卸，使可更换手可拆卸地连接机械臂，实现了可更换手的更换，进而，通过更换上述可更换手来分别搬运工艺处理前和工艺处理后的硅片，不仅隔绝了搬运过程中的交叉沾污，而且还使单手臂机械手装置实现了多手臂机械手装置的功能，拓展了单手臂机械手装置应用范围，降低了设备成本。此外，该机械手装置的存放装置不仅可以协助实现可更换手与定位臂之间的锁定连接或解锁拆卸，而且还可以存放锁定连接前或解锁拆卸后的可更换手，以便于可更换手的使用和存放。并且，该机械手装置的可更换手还可以具有多个叉指状手，从而实现一次搬运多片硅片，提高了硅片的搬运效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的一种机械手装置的结构示意图；

图2为本实用新型的一种机械手装置的可更换手的俯视图；

图3为图2中A—A处的截面结构示意图；

图4为本实用新型的一种机械手装置的定位臂的俯视图；