[实用新型]一种机械手装置有效
申请号: | 201621465947.0 | 申请日: | 2016-12-29 |
公开(公告)号: | CN206532763U | 公开(公告)日: | 2017-09-29 |
发明(设计)人: | 任大清 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人: | 吴世华,陈慧弘 |
地址: | 201210 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 机械手 装置 | ||
1.一种机械手装置,其特征在于,所述机械手装置包括:
基座;
机械臂,设置于所述基座上,所述机械臂包括定位臂;
至少一个可更换手,可拆卸地连接所述定位臂;以及
锁定机构,用于将所述可更换手与所述定位臂锁定连接或解锁拆卸,所述锁定机构包括:
锁定凹槽,设置于所述定位臂上;
锁定部件,设置于所述可更换手上,通过将所述锁定部件卡接于所述锁定凹槽中,以锁定连接所述可更换手和所述定位臂。
2.如权利要求1所述的机械手装置,其特征在于,所述可更换手为单片手或多片手,所述可更换手包括:
本体;以及
至少一个叉指状手,设置于所述本体的一侧;
其中,所述锁定机构包括两个锁定部件和两个锁定凹槽,两个所述锁定部件分别设置于所述本体的两端,两个所述锁定凹槽设置于所述定位臂的两端。
3.如权利要求2所述的机械手装置,其特征在于,所述可更换手为多片手,所述可更换手包括多个叉指状手,所述多个叉指状手堆叠设置于所述本体的一侧。
4.如权利要求2所述的机械手装置,其特征在于,所述机械手装置包括至少一存放装置,用于控制所述锁定机构锁定连接或解锁所述可更换手、并存放锁定连接前或解锁拆卸后的所述可更换手,其中,所述存放装置包括:
一容置空间;
一开口部,设置于所述容置空间的一侧;
接联控制装置,设置于所述开口部,且在所述可更换手存放于所述存放装置内的过程中与所述锁定部件连接,控制所述锁定部件卡入或移出所述锁定凹槽,以锁定连接或解锁拆卸所述可更换手和所述定位臂。
5.如权利要求4所述的机械手装置,其特征在于,所述存放装置还包括压力传感器,所述压力传感器设置于远离所述开口部一侧的内壁,所述压力传感器用于侦测放置于所述容置空间内的所述可更换手的位置。
6.如权利要求5所述的机械手装置,其特征在于,所述压力传感器与所述接联控制装置连接,驱动所述接联控制装置控制所述锁定部件卡入或移出所述锁定凹槽。
7.如权利要求4所述的机械手装置,其特征在于,所述机械手装置包括多个存放装置,多个所述存放装置之间平铺设置或堆叠设置。
8.如权利要求7所述的机械手装置,其特征在于,所述机械手装置包括多个可更换手,多个所述可更换手分别存放于各个所述存放装置中,其中,至少一个所述可更换手通过所述存放装置与定位臂锁定连接。
9.如权利要求2至8中任一项所述的机械手装置,其特征在于,所述机械手装置包括定位机构,对所述可更换手进行定位,所述定位机构包括:
定位孔,设置于所述本体的与所述叉指状手相背的另一侧;和
定位销,设置于所述定位臂的与所述可更换手连接的一侧。
10.如权利要求9所述的机械手装置,其特征在于,所述定位机构包括两个定位孔以及与两个所述定位孔相对应的定位销。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造