[实用新型]蒸镀坩埚和蒸镀系统有效
| 申请号： | 201621460504.2 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN206289297U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 何瑞亭;李晓康 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 姜春咸,陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀坩埚和蒸镀系统，属于设备制造技术领域。所述蒸镀坩埚包括坩埚本体、可分离的设置在所述坩埚本体出口处的坩埚盖和至少一个喷嘴，所述喷嘴固定在所述坩埚盖上，以将所述坩埚本体的内部与外部连通，所述坩埚本体上设置有至少一个通孔；所述蒸镀坩埚还包括至少一个密封盖和至少一个清理组件，所述密封盖可打开地对所述通孔进行密封，所述清理组件能够穿过所述通孔进入所述坩埚本体内部并对所述喷嘴进行清理。本实用新型的蒸镀坩埚能够大大节省清理时间，提高蒸镀工艺产能，节省成本。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 系统 | ||
【主权项】：
一种蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体、可分离的设置在所述坩埚本体出口处的坩埚盖和至少一个喷嘴，所述喷嘴固定在所述坩埚盖上，以将所述坩埚本体的内部与外部连通，其特征在于，所述坩埚本体上设置有至少一个通孔；所述蒸镀坩埚还包括至少一个密封盖和至少一个清理组件，所述密封盖可打开地对所述通孔进行密封，所述清理组件能够穿过所述通孔进入所述坩埚本体内部并对所述喷嘴进行清理。
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