[实用新型]蒸镀坩埚和蒸镀系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及设备制造技术领域，具体涉及一种蒸镀坩埚以及一种包括该蒸镀坩埚的蒸镀系统。

背景技术

一般的，显示装置的显示方式包括液晶显示(Liquid Crystal Display，LCD)和有机发光二极管显示(Organic Light-Emitting Diode，OLED)，有机发光二极管显示(OLED)与液晶显示(LCD)相比，具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域以及柔性显示等优点，成为下一代显示器的发展趋势。有机发光二极管显示(OLED)包括有源矩阵有机发光二级管(Active Matrix Organic Light Emitting Diode，AMOLED)和无源矩阵有机发光二极管(Passive Matrix Organic Light Emitting Diode，PMOLED)。实现有机发光二极管显示(OLED)显示时，使用低温多晶硅面板(Low Temperature Poly-silicon，LTPS)+高精度金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)的方式已初步成熟。

上述高精度金属掩膜板(FMM)模式，是通过蒸镀方式将有机材料(OLED)按照预定程序蒸镀到低温多晶硅面板(LTPS)上，利用高精度金属掩膜板(FMM)上的图形形成红、绿、蓝器件。蒸镀是在真空腔体中，使用线性蒸镀坩埚进行蒸镀。

但是，在有机材料(OLED)的蒸镀过程中，由于蒸镀出的有机材料(OLED)为蓬松结构，很容易在坩埚盖子的蒸镀孔部位集结，直至将蒸镀孔完全堵住。但由于有机发光二极管(OLED)显示器件制作工艺的特殊性，需要在持续的真空环境下，连续完成有机材料(OLED)的蒸镀，而一旦蒸镀孔被堵，将使有机材料(OLED)无法蒸发，使蒸镀工艺无法继续进行，严重影响生产进度。这种情况下，传统的解决方案，将有机材料(OLED)降温至室温，再打开蒸镀设备腔体，处理堵住蒸镀孔的蒸发源后，再关上蒸镀设备腔体，然后才能开始再次加热有机材料(OLED)继续蒸镀工艺，通常这一流程需要耗费几十小时，对生产计划有严重的影响并且影响产品质量。另外，有机蒸镀坩埚材质为钛材质，采用加热丝加热方式，钛低热传导性能、加热丝高温形变等会导致坩埚内材料受热不均，造成局部高温，这会导致有机材料(OLED)灰化变性，影响产品性能。

因此，如何设计出一种能够有效疏通蒸镀孔的蒸镀坩埚结构成为本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种蒸镀坩埚和一种包括该蒸镀坩埚的蒸镀系统。

为了实现上述目的，一方面，本实用新型提供一种蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体、可分离的设置在所述坩埚本体出口处的坩埚盖和至少一个喷嘴，所述喷嘴固定在所述坩埚盖上，以将所述坩埚本体的内部与外部连通，所述坩埚本体上设置有至少一个通孔；所述蒸镀坩埚还包括至少一个密封盖和至少一个清理组件，所述密封盖可打开地对所述通孔进行密封，所述清理组件能够穿过所述通孔进入所述坩埚本体内部并对所述喷嘴进行清理。

优选地，所述通孔设置在所述坩埚本体的底壁上，且所述通孔的位置与所述喷嘴相对应。

优选地，所述蒸镀坩埚还包括至少一个容纳筒，一个所述容纳筒对应至少一个所述通孔，所述容纳筒固定设置在所述坩埚本体的底壁上，且所述容纳筒的内部与相应的所述通孔连通，每个所述容纳筒对应一个所述密封盖，且每个所述密封盖设置在与其所对应的所述容纳筒的顶端开口处。

优选地，所述清理组件包括刮板和驱动杆，所述刮板设置在所述驱动杆的一端，所述驱动杆能够带动所述刮板沿所述容纳筒的轴线方向移动，且所述刮板能够移动至所述喷嘴处，并与所述喷嘴接触。

优选地，所述驱动杆中设置有沿该驱动杆的轴向延伸的容纳腔，所述驱动杆上还设置有激光入口和激光出口，所述容纳腔分别连通所述激光入口和所述激光出口，且所述激光出口与所述刮板相邻，所述清理组件还包括激光传导件，所述激光传导件设置在所述容纳腔中，且所述激光传导件的一端位于所述激光入口中，所述激光传导件的另一端位于所述激光出口中，以使得该激光传导件能够将激光传导至所述清理组件的外部。

优选地，所述驱动杆还能够带动所述刮板绕所述容纳筒的轴线转动。

优选地，所述蒸镀坩埚还包括至少一个保护壳和至少一个加热件，每个所述容纳筒对应一个所述保护壳和一个所述加热件，且每个所述保护壳套设在与其所对应的所述容纳筒的外部且与该容纳筒间隔设置，每个所述加热件设置在与其所对应的所述容纳筒和所述保护壳的间隔中。