[实用新型]蒸镀坩埚和蒸镀系统

权利要求书

1.一种蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体、可分离的设置在所述坩埚本体出口处的坩埚盖和至少一个喷嘴，所述喷嘴固定在所述坩埚盖上，以将所述坩埚本体的内部与外部连通，其特征在于，所述坩埚本体上设置有至少一个通孔；所述蒸镀坩埚还包括至少一个密封盖和至少一个清理组件，所述密封盖可打开地对所述通孔进行密封，所述清理组件能够穿过所述通孔进入所述坩埚本体内部并对所述喷嘴进行清理。

2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述通孔设置在所述坩埚本体的底壁上，且所述通孔的位置与所述喷嘴相对应。

3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括至少一个容纳筒，一个所述容纳筒对应至少一个所述通孔，所述容纳筒固定设置在所述坩埚本体的底壁上，且所述容纳筒的内部与相应的所述通孔连通，每个所述容纳筒对应一个所述密封盖，且每个所述密封盖设置在与其所对应的所述容纳筒的顶端开口处。

4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述清理组件包括刮板和驱动杆，所述刮板设置在所述驱动杆的一端，所述驱动杆能够带动所述刮板沿所述容纳筒的轴线方向移动，且所述刮板能够移动至所述喷嘴处，并与所述喷嘴接触。

5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述驱动杆中设置有沿该驱动杆的轴向延伸的容纳腔，所述驱动杆上还设置有激光入口和激光出口，所述激光入口和所述激光出口均与所述容纳腔连通，且所述激光出口与所述刮板相邻，所述清理组件还包括激光传导件，所述激光传导件设置在所述容纳腔中，且所述激光传导件的一端位于所述激光入口中，所述激光传导件的另一端位于所述激光出口中，以使得该激光传导件能够将激光传导至所述清理组件的外部。

6.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述驱动杆还能够带动所述刮板绕所述容纳筒的轴线转动。

7.根据权利要求3至6任意一项所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括至少一个保护壳和至少一个加热件，每个所述容纳筒对应一个所述保护壳和一个所述加热件，且每个所述保护壳套设在与其所对应的所述容纳筒的外部且与该容纳筒间隔设置，每个所述加热件设置在与其所对应的所述容纳筒和所述保护壳的间隔中。

8.根据权利要求7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括至少一个顶杆和至少一个引导套，每个密封盖对应一个所述顶杆，每个所述顶杆的一端与其所对应的所述密封盖的边部固定连接，每个所述顶杆能够沿与其所对应的所述容纳筒的轴线方向移动，且每个所述顶杆还能够绕自身轴线转动，每个所述顶杆设置在与其所对应的所述保护壳和所述容纳筒的间隔中，每个所述顶杆的外部均套设一个引导套，每个所述引导套设置在与其所对应的所述保护壳的内壁上。

9.根据权利要求1至6任意一项所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括收集槽，所述收集槽用于接收由所述清理组件从所述喷嘴上移除的物体。

10.一种蒸镀系统，所述蒸镀系统包括蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚为权利要求1至9任意一项所述的蒸镀坩埚，所述蒸镀系统还包括抽真空组件，所述抽真空组件能够与喷嘴连通，以通过所述喷嘴对所述坩埚本体内部抽真空。