[实用新型]硅片分选机自动上料系统有效
| 申请号： | 201621450420.0 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN206312878U | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚捷 | 申请（专利权）人： | 常州协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 213031 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片分选机自动上料系统，包括至少一个硅片分选机自动上料装置，每个硅片分选机自动上料装置包括支撑柱、两条滑轨、横梁、机械手，两条滑轨分别纵向安装在支撑柱的顶端，两条滑轨在横向方向上平行；横向放置并且横梁的两端分别安装在两条滑轨上，并且可沿着滑轨在纵向方向上移动；机械手包括夹爪和机械手安装座，所述夹爪安装在机械手安装座上，机械手安装座安装在横梁上，所述夹爪能够夹取或释放插片盒。本实用新型通过设置硅片分选机自动上料系统来夹取插片盒并将插片盒放置到分选机的上料台上，不需要人工搬运，从而节省了人力，并且相对于人力搬运，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 分选 自动 系统 | ||
【主权项】：
一种硅片分选机自动上料系统(100)，其特征在于：包括至少一个硅片分选机自动上料装置，每个硅片分选机自动上料装置包括支撑柱(110)；两条滑轨(130)，分别纵向安装在支撑柱(110)的顶端，两条滑轨(130)在横向方向上平行；横梁(150)，横向放置并且横梁(150)的两端分别安装在两条滑轨(130)上，并且可沿着滑轨(130)在纵向方向上移动；机械手(140)，包括夹爪(142)和机械手安装座(144)，所述夹爪(142)安装在机械手安装座(144)上，机械手安装座(144)安装在横梁(150)上，所述夹爪(142)能够夹取或释放插片盒(C)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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