[实用新型]硅片分选机自动上料系统有效
申请号: | 201621450420.0 | 申请日: | 2016-12-27 |
公开(公告)号: | CN206312878U | 公开(公告)日: | 2017-07-07 |
发明(设计)人: | 姚捷 | 申请(专利权)人: | 常州协鑫光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 213031 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 分选 自动 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及硅片分选机的辅助系统,具体是一种硅片分选机自动上料系统。
背景技术
硅棒经过切片机切割后成为一片一片的硅片,硅片经过清洗剂清洗后,需要用分选机对硅片进行筛选,筛选出合格品。
一般将硅片上料到分选机上的过程是:人工将装有多个插片盒的铁框搬运至分选机上料处,然后从铁框中依次取出插片盒放在分选机上料台上,还需要人工将空铁框搬到堆放处。耗费人力,并且效率低。
实用新型内容
基于将插片盒上料到分选机耗费人力,效率低的问题,提供一种节省人力,效率高的硅片分选机自动上料系统。
一种硅片分选机自动上料系统,包括至少一个硅片分选机自动上料装置,每个硅片分选机自动上料装置包括
支撑柱;
两条滑轨,分别纵向安装在支撑柱的顶端,两条滑轨在横向方向上平行;
横梁,横向放置并且横梁的两端分别安装在两条滑轨上,并且可沿着滑轨在纵向方向上移动;
机械手,包括夹爪和机械手安装座,所述夹爪安装在机械手安装座上,机械手安装座安装在横梁上,所述夹爪能够夹取或释放插片盒。
本实用新型通过设置硅片分选机自动上料系统来夹取插片盒并将插片盒放置到分选机的上料台上,不需要人工搬运,从而节省了人力,并且相对于人力搬运,效率高。
在其中一个实施例中,所述硅片分选机自动上料系统还包括位于机械手下方的、沿着纵向方向布置的输送带。
在其中一个实施例中,所述夹爪能够相对于机械手安装座转动。
在其中一个实施例中,机械手安装座能够相对于横梁上下移动。
在其中一个实施例中,机械手安装座能够相对于横梁在横向方向上移动。
在其中一个实施例中,所述硅片分选机自动上料装置还包括用于控制夹爪动作的控制系统。
在其中一个实施例中,所述硅片分选机自动上料系统包括沿着纵向方向间隔布置的两个硅片分选机自动上料装置。
在其中一个实施例中,两个硅片分选机自动上料装置分别位于输送带的两端。
在其中一个实施例中,所述夹爪安装在机械手安装座的底端。
在其中一个实施例中,机械手安装座中开设有截面形状为矩形的安装孔,横梁穿过该安装孔;该安装孔的内表面和横梁的外表面上分别设置有滑块和滑道,使得机械手安装座能够相对于横梁上下移动或者在横向方向上移动。
附图说明
图1为本实用新型的硅片分选机自动上料装置的正面示意图;
图2为本实用新型的硅片分选机自动上料系统工作过程中的侧面示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进,因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
下面结合附图1和附图2来说明本实用新型的硅片分选机自动上料系统:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造