[实用新型]一种硅片制绒加排液装置有效
| 申请号： | 201621406601.3 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN206236657U | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 吴路军 | 申请（专利权）人： | 四川英发太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220 | 代理人： | 郭受刚 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片制绒加排液装置，包括反应装置、供液装置、接液装置和注液装置；所述反应装置与供液装置之间设置有供液管和回液管；所述供液装置内设置有泵，供液管与泵通过管道连接；所述接液装置与供液装置之间设置有排液管，排液管的管路最高点高于供液装置内的泵的最顶端；所述注液装置与供液装置之间设置有注液管；所述供液管、回液管、注液管和排液管的管路上均设置有阀门。本实用新型通过设置合理的排液管路可以避免因排液速度比注液速度快而造成泵干燥运行，同时也避免制绒反应槽得不到足够的反应液而造成硅片制绒不合格。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 制绒加排液 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片制绒加排液装置，其特征在于，包括反应装置(1)、供液装置(5)、接液装置(6)和注液装置(8)；所述反应装置(1)与供液装置(5)之间设置有供液管(2)和回液管(3)；所述供液装置(5)内设置有泵(4)，供液管(2)与泵(4)通过管道连接；所述接液装置(6)与供液装置(5)之间设置有排液管(7)，排液管(7)的管路最高点高于供液装置(5)内的泵(4)的最顶端；所述注液装置(8)与供液装置(5)之间设置有注液管(10)；所述供液管(2)、回液管(3)、注液管(10)和排液管(7)的管路上均设置有阀门(9)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川英发太阳能科技有限公司，未经四川英发太阳能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621406601.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光电晶体管裁脚装置
- 下一篇：一种太阳能电池串托盘架
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
