[实用新型]一种硅片制绒加排液装置有效
申请号: | 201621406601.3 | 申请日: | 2016-12-21 |
公开(公告)号: | CN206236657U | 公开(公告)日: | 2017-06-09 |
发明(设计)人: | 吴路军 | 申请(专利权)人: | 四川英发太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220 | 代理人: | 郭受刚 |
地址: | 610000 四川省成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 制绒加排液 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种加排液装置,具体涉及一种硅片制绒加排液装置。
背景技术
制绒是处理太阳能级硅片的一种工艺方法,是硅太阳能电池片生产的一道工序。按硅原料分类可分为单晶硅制绒和多晶硅制绒;按腐蚀液的酸碱性可分为酸制绒与碱制绒,不管是单晶硅片还是多晶硅片,都可以用酸或者碱来处理,无论用哪种方法处理,一般情况下,用碱处理是为了得到金字塔状绒面,用酸处理是为了得到虫孔状绒面,不管是哪种绒面,都可以提高硅片的陷光作用。
目前在大工业生产中一般采用成本较低的氢氧化钠或氢氧化钾稀溶液(浓度为1%~2%)来制备绒面,腐蚀温度为80℃±5℃,另外,为了有效地控制反应速度和绒面的大小,会添加一定量的IPA作为缓释剂和络合剂。理想的绒面效果,应该是金字塔大小均匀,覆盖整个表面,金子塔的高度在3~5μm之间,相邻金字塔之间没有空隙,具有较低的表面反射率,有效的绒面结构,有助于提高电池的性能。
在硅片制绒过程中不可缺少的是制绒反应槽和反应液,硅片制绒过程是在制绒反应槽内完成,而在整个过程中需要通过供液装置对制绒反应槽不间断的补充反应液,补充反应液的动力装置为供液装置内的泵,现有技术中,常常出现在补充反应液时由于供液装置排液结构不合理而导致泵空转运行的情况,一方面容易造成泵损坏,另一方面会导致制绒反应槽得不到足够的反应液而影响硅片制绒的质量,造成硅片制绒不合格而返工,既浪费人力物力,又浪费时间。
实用新型内容
本实用新型所要解决的问题是克服现有技术中由于供液装置排液管路不合理造成过度排液而导致泵空干燥运行,同时导致制绒反应槽得不到足够的反应液的问题,提供一种硅片制绒加排液装置,其通过设置合理的管路结构,可以避免硅片制绒过程中供液装置排液过多。
本实用新型通过下述技术方案实现:
一种硅片制绒加排液装置,包括反应装置、供液装置、注液装置和接液装置;所述反应装置与供液装置之间设置有供液管和回液管;所述供液装置内设置有泵,供液管与泵通过管道连接;所述注液装置与供液装置之间设置有注液管;所述接液装置与供液装置之间设置有排液管,排液管的管路最高点高于供液装置内的泵的最顶端;所述供液管、回液管、注液管和排液管的管路上均设置有阀门。使用本实用新型时,供液管、回液管、注液管和排液管的管路上的阀门均处于开启状态,在反应装置内加入足够的反应液,将需要制绒的硅片置于反应装置中并被反应液完全覆盖,在整个硅片制绒过程中,一方面,供液装置内的泵通过供液管一直不间断地为反应装置补充反应液,一旦反应装置内的反应液超过预先设定的高度,反应装置内的反应液将通过回液管流回供液装置,另一方面,注液装置通过注液管一直为供液装置提供新鲜的反应液,而供液装置中的液面一旦高于排液管路的最高点(高于泵的最顶端),则排液管开始将反应液排到接液装置中。本实用新型通过将排液管的管路最高点设置得比供液装置内的泵的最顶端高,可以避免排液管在供液装置内的反应液接近泵时还继续排液,从而避免因排液速度比注液速度快而造成泵干燥运行(没有足够的液体或没有液体供泵输送,从而造成泵小负荷或空转运行),同时也避免制绒反应槽得不到足够的反应液而造成硅片制绒不合格。
进一步地,所述排液管的管路包括U型管路部分,且U型管路的水平管路部分为排液管的最高位置。U型管路在制造工艺上简单易行,在结构上规则美观,而且U型管路对流体的阻力小,有利于反应液顺利排出。
进一步地,还包括第一报警装置,所述供液装置内设置有第一液位传感器,第一液位传感器的输出端与第一报警装置的输入端连接。通过第一液位传感器可以随时监测供液装置内的液面高度,一旦液面低于泵的最顶端,则由第一报警装置发出报警信号,通知工作人员采取应对措施,避免泵损坏,也减小制绒硅片的不合格率。
进一步地,还包括第二报警装置,所述反应装置内设置有第二液位传感器,第二液位传感器的输出端与第二报警装置的输入端连接。通过第二液位传感器可以随时监测反应装置内的液面高度,一旦反应液的液面降低到硅片制绒所需反应液的最低液面,则由第二报警装置发出报警信号,通知工作人员采取应对措施,避免反应装置内反应液不足造成硅片制绒不合格。
本实用新型与现有技术相比,具有如下的优点和有益效果:
1、本实用新型通过设置合理的排液管路可以避免因排液速度比注液速度快而造成泵干燥运行,同时也避免制绒反应槽得不到足够的反应液而造成硅片制绒不合格。
2、将排液管路的最高部分设置为U型管路,制造简单,结构美观,而且U型管路对流体的阻力小,有利于反应液顺利排出。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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