[实用新型]一种搅拌装置有效
| 申请号： | 201621380425.0 | 申请日： | 2016-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN206391892U | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 孙立朋 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B01F5/00 | 分类号： | B01F5/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种搅拌装置，涉及半导体生产领域，应用于利用泵循环的研磨液储存系统，所述研磨液储存系统包括供研磨液流动的管道，其中，所述搅拌装置包括，一连接装置，连接于所述管道的内壁上；至少一个连接支架；一螺旋桨，位于所述管道内，并通过所述连接支架连接于所述连接装置上。上述技术方案的有益效果是利用研磨液储存系统中循环泵对研磨液的流动压力作为动力，推动螺旋桨转动搅拌研磨液，不需消耗额外的能源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 搅拌 装置 | ||
【主权项】：
一种搅拌装置，应用于利用泵循环的研磨液储存系统，所述研磨液储存系统包括供研磨液流动的管道，其特征在于，所述搅拌装置包括，一连接装置，连接于所述管道的内壁上；至少一个连接支架；一螺旋桨，位于所述管道内，并通过所述连接支架连接于所述连接装置上。
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