[实用新型]一种搅拌装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体生产领域，尤其涉及一种应用于利用泵循环的研磨液储存系统的搅拌装置。

背景技术

伴随半导体行业的发展，实际的生产领域中，高端芯片的制造离不开各种液体的使用，特别在化学机械研磨制程中，研磨液是必不可少的生产原料之一。

在化学机械研磨制程中，研磨液储存系统中的大多数研磨液都需要不停的搅拌，以防止沉淀产生沉淀和结晶导致产品在生产过程中刮伤。因此，每个环节的研磨液的充分搅拌显的十分重要。但是，当前的研磨液储存系统中对研磨液的搅拌主要是通过泵进行回路的循环，只能使研磨液起到流通的作用，对于大容量的容器桶的搅拌效果不够；现有技术中的另一种方式是增加额外的电动搅拌器，用电机带动搅拌器工作，但是这种方式需要消耗额外的电能。

发明内容

根据现有技术中存在的问题，现提供一种搅拌装置，应用于利用泵循环的研磨液储存系统，所述研磨液储存系统包括供研磨液流动的管道，其中，所述搅拌装置包括，

一连接装置，连接于所述管道的内壁上；

至少一个连接支架；

一螺旋桨，位于所述管道内，并通过所述连接支架连接于所述连接装置上。

较佳的，上述连接装置中，所述螺旋桨包括，

转轴，连接于所述连接支架上；

桨毂，可枢转的连接于所述转轴上；

复数个桨叶，呈放射状的均布在所述桨毂上。

较佳的，上述连接装置中，所述连接装置为圆环形，所述圆环形的连接装置的外壁连接于所述管道的内壁上。

较佳的，上述连接装置中，所述连接支架为弯曲的圆管；

所述连接支架连接所述连接装置的一端固定在所述圆环形的连接装置的内壁上；

所述连接支架连接所述转轴的一端固定在所述转轴的侧壁上。

较佳的，上述连接装置中，所述连接支架设置有3根。

较佳的，上述连接装置中，所述桨叶为3个。

还包括，一种研磨液储存系统，其中，包括上述任一所述的搅拌装置。

上述技术方案的有益效果是：利用研磨液储存系统中循环泵对研磨液的流动压力作为动力，推动螺旋桨转动搅拌研磨液，不需消耗额外的能源。

附图说明

图1是本实用新型的较佳的实施例中，一种搅拌装置的结构示意图；

箭头所示方向为研磨液流动方向。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

本实用新型的较佳的实施例中，如图1所示，一种搅拌装置，应用于利用泵循环的研磨液储存系统，研磨液储存系统包括供研磨液流动的管道1，搅拌装置包括：一连接装置2，连接于管道1的内壁上；至少一个连接支架3；一螺旋桨4，位于管道1内，并通过连接支架3连接于连接装置2上。进一步地，连接装置2、连接支架3、螺旋桨4沿研磨液流动的方向依次连接。

上述技术方案中，搅拌装置的螺旋桨4承受管道1内的研磨液在泵循环作用下流动产生的动力而转动，从而达到在无需消耗额外能源的基础上实现搅拌研磨液的技术效果。

本实用新型的较佳的实施例中，螺旋桨4包括，转轴41、桨毂42、复数个桨叶43；转轴41连接于连接支架3上；桨毂42可枢转的连接于转轴41上；桨叶43呈放射状的均布在桨毂42上。

作为优选的实施方式，桨叶43的数量可设置3-6个。

较佳的，桨叶43的数量可设置3个。

本实用新型的较佳的实施例中，连接装置2为圆环形，圆环形的连接装置2的外壁连接于管道1的内壁上。

上述技术方案中，通过设置圆环形的连接装置2，可在不妨碍研磨液于道中流动的基础上固定连接支架3。

作为优选的实施方式，连接装置2与管道1可通过螺纹连接。

本实用新型的较佳的实施例中，搅拌装置可设置3个连接支架3，每个连接支架3为弯曲的圆管；连接支架3与连接装置2连接的一端固定在圆环形的连接装置2的内壁上；连接支架3连接转轴41的一端固定在转轴41的侧壁上。

上述技术方案中，管道1中的研磨液在泵循环的作用下从弯曲的圆管状的连接支架3中流向螺旋桨4，由于连接支架3占用的管道中研磨液流动的空间，从而使连接支架3所在位置的研磨液受到的泵循环的压力更大，使得从连接支架3中流出的研磨液的流速更快，因此有利于推动螺旋桨4转动。

本实用新型的技术方案中，还包括一种研磨液储存系统，该研磨液储存系统使用上述搅拌装置。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。