[实用新型]一种搅拌装置有效
| 申请号： | 201621380425.0 | 申请日： | 2016-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN206391892U | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 孙立朋 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B01F5/00 | 分类号： | B01F5/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 搅拌 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种搅拌装置，应用于利用泵循环的研磨液储存系统，所述研磨液储存系统包括供研磨液流动的管道，其特征在于，所述搅拌装置包括，
一连接装置，连接于所述管道的内壁上；
至少一个连接支架；
一螺旋桨，位于所述管道内，并通过所述连接支架连接于所述连接装置上。
2.如权利要求1所述的搅拌装置，其特征在于，所述螺旋桨包括，
转轴，连接于所述连接支架上；
桨毂，可枢转的连接于所述转轴上；
复数个桨叶，呈放射状的均布在所述桨毂上。
3.如权利要求2所述的搅拌装置，其特征在于，所述连接装置为圆环形，所述圆环形的连接装置的外壁连接于所述管道的内壁上。
4.如权利要求3所述的搅拌装置，其特征在于，所述连接支架为弯曲的圆管；
所述连接支架连接所述连接装置的一端固定在所述圆环形的连接装置的内壁上；
所述连接支架连接所述转轴的一端固定在所述转轴的侧壁上。
5.如权利要求1所述的搅拌装置，其特征在于，所述连接支架设置有3根。
6.如权利要求2所述的搅拌装置，其特征在于，所述桨叶为3个。
7.一种研磨液储存系统，其特征在于，包括如权利要求1-6中任一所述的搅拌装置。
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