[实用新型]一种手动传送装置

摘要

本实用新型提供一种手动传送装置，应用于晶圆的传送，包括多个平行排列的用以清洗晶圆的清洗槽以及自动传输轨道；其特征在于，包括第一滑轨，沿着清洗槽排列方向设置的；第二滑轨，垂直于第一滑轨，且可滑动的连接于第一滑轨上；第三滑轨，位于第一滑轨及自动传输轨道之间，并位于清洗槽上方，第三滑轨可滑动的连接于第二滑轨上，且与第一滑轨和第二滑轨分别垂直；抓取部件，可滑动的连接于第三滑轨上，抓取部件的抓取方向朝向清洗槽，用以于清洗槽中抓取晶圆并传送。其技术方案的有益效果在于，在自动传送装置出现故障时，及时稳定的将晶圆从清洗槽中取出传送，避免了人工手动取出晶圆出现划伤掉落的缺陷。

主权项

一种手动传送装置，应用于晶圆的传送，包括多个平行排列的用以清洗晶圆的清洗槽以及自动传输轨道；其特征在于，包括：第一滑轨，沿着所述清洗槽排列方向设置的；第二滑轨，垂直于所述第一滑轨，且可滑动的连接于所述第一滑轨上；第三滑轨，位于所述第一滑轨及所述自动传输轨道之间，并位于所述清洗槽上方，所述第三滑轨可滑动的连接于所述第二滑轨上，且与所述第一滑轨和所述第二滑轨分别垂直；抓取部件，可滑动的连接于所述第三滑轨上，所述抓取部件的抓取方向朝向所述清洗槽，用以于所述清洗槽中抓取所述晶圆并传送。