[实用新型]一种手动传送装置有效
| 申请号： | 201621335934.1 | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN206379338U | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 孙立朋 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 手动 传送 装置 | ||
1.一种手动传送装置，应用于晶圆的传送，包括多个平行排列的用以清洗晶圆的清洗槽以及自动传输轨道；其特征在于，包括：
第一滑轨，沿着所述清洗槽排列方向设置的；
第二滑轨，垂直于所述第一滑轨，且可滑动的连接于所述第一滑轨上；
第三滑轨，位于所述第一滑轨及所述自动传输轨道之间，并位于所述清洗槽上方，所述第三滑轨可滑动的连接于所述第二滑轨上，且与所述第一滑轨和所述第二滑轨分别垂直；
抓取部件，可滑动的连接于所述第三滑轨上，所述抓取部件的抓取方向朝向所述清洗槽，用以于所述清洗槽中抓取所述晶圆并传送。
2.根据权利要求1所述的手动传送装置，其特征在于，所述第一滑轨上可滑动的连接有一第一滑块，所述第二滑轨连接于所述第一滑块上；
所述第一滑块上设置有第一固定旋钮，所述第一固定旋钮用以将所述第一滑块夹紧于所述第一滑轨上，以及松开夹持使所述第一滑块可滑动。
3.根据权利要求1所述的手动传送装置，其特征在于，所述第二滑轨上可滑动的连接有一第二滑块，所述第三滑轨连接于所述第二滑块上；
所述第二滑块上设置有第二固定旋钮，所述第二固定旋钮用以将所述第二滑块夹紧于所述第二滑轨上，以及松开夹持使所述第二滑块可滑动。
4.根据权利要求3所述的手动传送装置，其特征在于，所述第二滑轨于设置所述第二固定旋钮的一侧，设置有用以表示高度的第一刻度线。
5.根据权利要求1所述的手动传送装置，其特征在于，所述第三滑轨上可滑动的连接有一第三滑块，所述抓取部件连接于所述第三滑块上；
所述第三滑块上设置有第三固定旋钮，所述第三固定旋钮用以将所述第三滑块夹紧于所述第三滑轨上，以及松开夹持使所述第三滑块可滑动。
6.根据权利要求5所述的手动传送装置，其特征在于，所述第三滑轨于设置所述第三固定旋钮的一侧，设置有用以表示宽度的第二刻度线。
7.根据权利要求2所述的手动传送装置，其特征在于，所述第一固定旋钮通过螺纹连接所述第一滑块。
8.根据权利要求3所述的手动传送装置，其特征在于，所述第二固定旋 钮通过螺纹连接所述第二滑块。
9.根据权利要求5所述的手动传送装置，其特征在于，所述第三固定旋钮通过螺纹连接所述第三滑块。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
